S SiC prevlečenim sodom

S svojim visokim tališčem, odpornostjo proti oksidaciji in odpornosti proti koroziji je Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor odlična izbira za uporabo v aplikacijah za rast monokristalov. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja izjemno ravnost in lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor je vrhunski grafitni izdelek, prevlečen s SiC visoke čistosti, zasnovan posebej za postopke LPE in druge aplikacije za proizvodnjo polprevodnikov. Njegova izjemna gostota in toplotna prevodnost zagotavljata vrhunsko porazdelitev toplote in zaščito v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnega in stroškovno učinkovitega sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC, prednost dajemo zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Lastnosti sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.