Cev susceptor s prevleko SiC v polprevodniku

Če iščete visokokakovosten grafitni sprejemnik, prevlečen s SiC visoke čistosti, je Semicorex sodčasti sprejemnik s prevleko SiC v polprevodniku popolna izbira. Zaradi izjemne toplotne prevodnosti in porazdelitve toplote je idealen za uporabo v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex Barrel Susceptor with SiC Coating in Semiconductor je grafitni izdelek vrhunske kakovosti, prevlečen s SiC visoke čistosti, zaradi česar je idealna izbira za uporabo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih. Njegova odlična gostota in toplotna prevodnost zagotavljata izjemno porazdelitev toplote in zaščito v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš sodčasti susceptor s prevleko SiC v polprevodniku ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri sodnega susceptorja s prevleko SiC v polprevodniku

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti sodnega susceptorja s prevleko SiC v polprevodniku

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko površinsko ravnost.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.