Če iščete visokokakovosten grafitni sprejemnik, prevlečen s SiC visoke čistosti, je Semicorex LPE sodčasti prijemalnik s prevleko iz SiC odlična izbira. Zaradi izjemne toplotne prevodnosti in porazdelitve toplote je idealen za uporabo v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.
Semicorex LPE Barrel Susceptor with SiC Coating je grafitni izdelek vrhunske kakovosti, prevlečen s SiC visoke čistosti, zaradi česar je idealna izbira za uporabo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih. Njegova odlična gostota in toplotna prevodnost zagotavljata izjemno porazdelitev toplote in zaščito v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš LPE sod susceptor s SiC prevleko ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.
Parametri sodnega susceptorja LPE s prevleko iz SiC
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 °) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Značilnosti sodnega susceptorja LPE s prevleko iz SiC
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.
- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.
- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.