Reaktorski sistem tekoče fazne epitaksije (LPE).

Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) Reactor System je inovativen izdelek, ki ponuja odlično toplotno zmogljivost, enakomeren toplotni profil in vrhunski oprijem premaza. Zaradi visoke čistosti, odpornosti proti oksidaciji pri visokih temperaturah in odpornosti proti koroziji je idealna izbira za uporabo v industriji polprevodnikov. Zaradi prilagodljivih možnosti in stroškovne učinkovitosti je zelo konkurenčen izdelek na trgu.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš reaktorski sistem tekoče fazne epitaksije (LPE) je zelo zanesljiv in vzdržljiv izdelek, ki zagotavlja odlično vrednost za denar. Njegova visokotemperaturna oksidacijska odpornost, enakomeren toplotni profil in preprečevanje kontaminacije so idealni za visokokakovostno rast epitaksialne plasti. Zaradi nizkih zahtev glede vzdrževanja in prilagodljivosti je zelo konkurenčen izdelek na trgu.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš reaktorski sistem v tekoči fazi (LPE) ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem reaktorskem sistemu za epitaksijo v tekoči fazi (LPE).

Parametri reaktorskega sistema za epitaksijo v tekoči fazi (LPE).

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti reaktorskega sistema tekočefazne epitaksije (LPE).

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ploskost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, visoka temperaturna odpornost proti oksidaciji, odpornost proti koroziji.