Induktivno ogrevan Barrel Epi sistem za LPE epitaksijo

Če potrebujete grafitni suceptor z izjemno toplotno prevodnostjo in lastnostmi porazdelitve toplote, ne iščite dlje kot sistem Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System za LPE epitaksijo. Njegova SiC prevleka visoke čistosti zagotavlja vrhunsko zaščito v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih, zaradi česar je idealna izbira za uporabo v aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Sistem Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System za LPE Epitaxy je popolna izbira za aplikacije v proizvodnji polprevodnikov, ki zahtevajo izjemno porazdelitev toplote in toplotno prevodnost. Njegova SiC prevleka visoke čistosti in vrhunska gostota zagotavljata vrhunsko zaščito in lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših okoljih.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš induktivno ogrevan sod Epi sistem za LPE epitaksijo ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri induktivno ogrevanega sistema Epi za LPE epitaksijo

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti induktivno ogrevanega sistema Epi za LPE epitaksijo

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ploskost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.