Visokotemperaturni susceptor, prevlečen s SiC

Ko gre za proizvodnjo polprevodnikov, je Semicorex visokotemperaturni SiC-Coated Barrel Susceptor najboljša izbira za vrhunsko zmogljivost in zanesljivost. Njegova visokokakovostna SiC prevleka in izjemna toplotna prevodnost sta idealna za uporabo tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih in korozivnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor je odlična izbira za rast monokristalov in druge aplikacije za proizvodnjo polprevodnikov, ki zahtevajo visoko toplotno in korozijsko odpornost. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja vrhunsko zaščito in lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših okoljih.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnega, stroškovno učinkovitega visokotemperaturnega soda, prevlečenega s SiC, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri visokotemperaturnega sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti visokotemperaturnega sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravnost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.