Vzdržljiv sosceptor, prevlečen s SiC

S svojo odlično gostoto in toplotno prevodnostjo je Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor idealna izbira za uporabo v epitaksialnih procesih in drugih aplikacijah za proizvodnjo polprevodnikov. Njegova SiC prevleka visoke čistosti zagotavlja vrhunsko zaščito in lastnosti porazdelitve toplote, zaradi česar je najboljša izbira za zanesljive in dosledne rezultate.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Če potrebujete visokokakovosten grafitni sprejemnik z vrhunsko odpornostjo na vročino in korozijo, ne iščite dlje kot Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor. Njegova prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja izjemno toplotno prevodnost in porazdelitev toplote, kar zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših visokotemperaturnih okoljih.
Naš vzdržljivi sodčasti susceptor, prevlečen s SiC, je zasnovan za doseganje najboljšega laminarnega vzorca pretoka plina, kar zagotavlja enakomeren toplotni profil. To pomaga preprečiti kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na rezinskem čipu.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem vzdržljivem sodnem susceptorju, prevlečenem s SiC.

Parametri vzdržljivega sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti vzdržljivega sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko površinsko ravnost.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.