CVD epitaksialno nanašanje v sodčastem reaktorju

Semicorex CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor je zelo trpežen in zanesljiv izdelek za gojenje epiksialnih plasti na čipih rezin. Zaradi visoke temperaturne oksidacijske odpornosti in visoke čistosti je primeren za uporabo v industriji polprevodnikov. Zaradi enakomernega toplotnega profila, laminarnega vzorca plinskega toka in preprečevanja kontaminacije je idealna izbira za visokokakovostno rast epiksialne plasti.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš CVD epitaksialni nanos v sodnem reaktorju je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan za zanesljivo delovanje v ekstremnih okoljih. Zaradi njegove vrhunske oprijemljivosti premaza, odpornosti proti oksidaciji pri visokih temperaturah in odpornosti proti koroziji je odlična izbira za uporabo v težkih okoljih. Poleg tega enakomeren toplotni profil, laminarni vzorec plinskega toka in preprečevanje kontaminacije zagotavljajo visoko kakovost epiksialne plasti.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš reaktor za epitaksialno nanašanje CVD v sodu ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri CVD epitaksialnega nanašanja v sodčastem reaktorju

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti CVD epitaksialnega nanašanja v sodčastem reaktorju

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.

- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ploskost površine.

- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.

- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Visoko tališče, visoka temperaturna odpornost proti oksidaciji, odpornost proti koroziji.