Grafit, prevlečen s silicijevim karbidom

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite je specializirana komponenta, zasnovana za uporabo v procesu epitaksije, zlasti pri prenašanju rezin. Ta grafit, prevlečen s silicijevim karbidom, je narejen iz grafitnega materiala, ki je znan po svoji odlični toplotni prevodnosti in stabilnosti pri visokih temperaturah. Za izboljšanje njegove učinkovitosti in vzdržljivosti je grafitna površina prevlečena s plastjo silicijevega karbida (SiC).

Prevleka iz silicijevega karbida Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite ima v tem kontekstu več ključnih namenov. Prvič, nudi dodatno plast zaščite spodnji grafitni podlagi, ki jo ščiti pred kemičnimi reakcijami in obrabo, do katere lahko pride med postopkom epitaksije. Drugič, prevleka SiC izboljša toplotne lastnosti grafita, prevlečenega s silicijevim karbidom, ki omogoča učinkovito in enakomerno segrevanje rezin. To enakomerno segrevanje je bistveno za doseganje doslednih in visokokakovostnih epitaksialnih plasti na polprevodniških rezinah.

Zasnova sodnega susceptorja iz grafita, prevlečenega s silicijevim karbidom, je optimizirana za varno držanje in transport več rezin med postopkom epitaksije. Njegova sodčkasta struktura omogoča enostavno nalaganje in praznjenje rezin, hkrati pa zagotavlja pravilno porazdelitev toplote in toplotno stabilnost med delovanjem.

Na splošno sodčasti susceptor s silicijevim karbidom prevlečenim grafitom predstavlja kritično komponento v opremi za epitaksijo, saj ponuja zanesljivost, vzdržljivost in natančen termični nadzor, ki je bistvenega pomena za proizvodnjo naprednih polprevodniških naprav.