Vaferska vakuumska vpenjalna glava

Izjemno čiste keramične komponente Semicorex, ki so kot nalašč za uporabo naslednje generacije litografije in ravnanja z rezinami, zagotavljajo minimalno kontaminacijo in zagotavljajo izjemno dolgo življenjsko dobo. Naše vakuumske vpenjalne glave za rezine imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex ultra-ploska keramična vakuumska vpenjalna naprava za rezine je prevlečena s SiC visoke čistosti, ki se uporablja v procesu ravnanja z rezinami. Vakuumska vpenjalna naprava za polprevodniške rezine z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih in izboljša upravljanje izkoristka pri obdelavi polprevodniških rezin. Konfiguracije z nizkim površinskim stikom zmanjšajo tveganje za delce na zadnji strani za občutljive aplikacije.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih vakuumskih vpenjalnih vpenjal, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri vakuumske vpenjalne glave za rezine

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300