Nosilci rezin s SiC prevleko

Nosilci rezin Semicorex s prevleko SiC, sestavni del sistema epitaksialne rasti, se odlikujejo po izjemni čistosti, odpornosti na ekstremne temperature in robustnih tesnilnih lastnostih, saj služijo kot pladenj, ki je bistvenega pomena za podporo in ogrevanje polprevodniških rezin med kritični fazi nanašanja epitaksialne plasti, s čimer se optimizira celotna učinkovitost postopka MOCVD. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih nosilcev za rezine s prevleko SiC, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Nosilci za rezine Semicorex s prevleko SiC izkazujejo izjemno toplotno stabilnost in prevodnost, ki sta bistveni za vzdrževanje doslednih temperatur med postopki kemičnega naparjevanja (CVD). To zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote po substratu, kar je ključnega pomena za doseganje visokokakovostnih lastnosti tankega filma in premaza.

Nosilci rezin s prevleko SiC so izdelani po strogih standardih, ki zagotavljajo enakomerno debelino in gladko površino. Ta natančnost je ključnega pomena za doseganje doslednih stopenj nanašanja in lastnosti filma na več rezinah.

Prevleka SiC deluje kot neprepustna pregrada, ki preprečuje difuzijo nečistoč iz suceptorja v rezino. To zmanjša tveganje kontaminacije, kar je ključnega pomena za proizvodnjo polprevodniških naprav visoke čistosti. Njihova vzdržljivost nosilcev rezin Semicorex s prevleko iz SiC zmanjša pogostost menjave suceptorjev, kar vodi do nižjih stroškov vzdrževanja in minimalnih izpadov v postopkih proizvodnje polprevodnikov.

Nosilce rezin Semicorex s prevleko SiC je mogoče prilagoditi za izpolnjevanje posebnih zahtev procesa, vključno z različnimi velikostmi, oblikami in debelino prevleke. Ta prilagodljivost omogoča optimizacijo suceptorja, da ustreza edinstvenim zahtevam različnih postopkov izdelave polprevodnikov. Možnosti prilagajanja omogočajo razvoj zasnov suceptorjev, prilagojenih specializiranim aplikacijam, kot je proizvodnja velikih količin ali raziskave in razvoj, kar zagotavlja optimalno delovanje za posebne primere uporabe.