Nosilec za oblate

Semicorex zagotavlja polprevodniško keramiko za vaša orodja za polprevodniško proizvodnjo OEM in komponente za ravnanje z rezinami, ki se osredotočajo na plasti silicijevega karbida v industriji polprevodnikov. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj nosilca za oblate. Naš nosilec za oblate ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Ne samo za faze nanašanja tankih filmov, kot sta epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, Semicorex dobavlja ultra čist keramični nosilec, ki se uporablja za podporo rezinam. V jedru postopka je nosilni pladenj za rezine za MOCVD najprej izpostavljen okolju nanašanja, zato ima visoko toplotno in korozijsko odpornost. Nosilec, prevlečen s SiC, ima tudi visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem nosilcu za oblate.

Parametri nosilnega pladnja za rezine

Tehnične lastnosti
Kazalo	Enota	Vrednost
Ime materiala		Reakcijsko sintran silicijev karbid	Breztlačno sintran silicijev karbid	Rekristaliziran silicijev karbid
Sestava		RBSiC	SSiC	R-SiC
Nasipna gostota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Upogibna trdnost	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C)
Tlačna trdnost	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Trdota	Gumb	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Toplotna prevodnost	W/m.k	95	120	23
Koeficient toplotnega raztezanja	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifična toplota	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Največja temperatura v zraku	℃	1200	1500	1600
Modul elastičnosti	Gpa	360	410	240

Razlika med SSiC in RBSiC:

1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.

2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.

3. Različni časi uporabe pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC

Značilnosti nosilnega pladnja za rezine

- CVD premazi iz silicijevega karbida za podaljšanje življenjske dobe.
- Toplotna izolacija iz visoko zmogljivega prečiščenega trdega ogljika.
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
- Prevleka iz grafita visoke čistosti in SiC za odpornost proti luknjam in daljšo življenjsko dobo

Razpoložljive oblike keramike iz silicijevega karbida:

● Keramična palica / keramični zatič / keramični bat

● Keramična cev / keramična puša / keramični tulec

● Keramični obroč / keramična podložka / keramični distančnik

● Keramični disk

● Keramična plošča / keramični blok

● Keramična krogla

● Keramični bat

● Keramična šoba

● Keramični lonček

● Drugi keramični deli po meri