Rezine čolnov

Polkovne rezine, izdelane iz silicijevega karbida z visoko čistočo (SIC), so bistvene sestavine pri izdelavi polprevodnikov. Podvodni procesi, v katerih se uporabljajo, običajno vključujejo visokotemperaturno in jedko okolje, kot so procesi difuzije, oksidacije in LPCVD. Uporaba čolnov SIC rezin je bila zasnovana za povečanje toplotne stabilnosti in kemične odpornosti, kar omogoča optimalno podporo, poravnavo in transport silicijevih rezin med obdelavo za optimalni donos in zmogljivost naprave.

Silicijev karbid je dobro dokumentiran kot odlična toplotno prevodna keramika, ki ima visoko mehansko trdnost in vrhunsko odpornost na toplotni udar, oksidacijsko odpornost in agresivno kemično odpornost s kemikalijami, kot sta HF in HCl. Lastnosti SIC-a so še posebej privlačni kot material za rezine za rezine za procese izdelave polprevodnikov nove generacije in v visokotemperaturnih okoljih. Sicne rezine lahko ohranijo strukturno celovitost in dimenzijsko stabilnost pri procesnih temperaturah> 1500 ° C, kar zmanjšuje tveganje za upogibanje ali kontaminacijo rezin pri kritičnih toplotnih obdelavah.

Vsak sicrezina čolnaje izdelan iz visoko-čistosti sic z uporabo naprednih procesov oblikovanja keramike in sintranja, prilagojena pa je lahko za široko paleto premerov rezin (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), pa tudi konfiguracije, ne glede na navpične ali vodoravne. Naši čolni sic rezin imajo gladke površine in odlično ravnost, ki minimizira nastajanje delcev in so idealni za avtomatizirane sisteme za ravnanje z rezinami.

Nadzor in donos kontaminacije sta dve izmed najbolj kritičnih vprašanj v sodobnih FAB. Čistost in zanesljivost nosilcev sic rezin vplivata na kakovost izdelka in uspešnost doslednosti.  Čolni sic rezin imajo veliko boljšo dolgoživost za uporabo, imajo manj zahtev za vzdrževanje in nižji TCO kot alternative na osnovi kremena ali glinice. Boljša dolgoživost pomeni tudi manj težav z odvajanjem mikro delcev, zato spet vpliva na čistočo površine rezin in vpliva na čistost v čisti sobi.

SECOREX je osredotočen na oblikovanje in izdelavo čolnov sic rezin, ki uporabljajo najvišje možne čistosti surovin v kombinaciji z nizko kontaminacijsko atmosfero sintranje.  Trudimo se, da ohranimo nizko raven nečistoč, ohranjamo poroznost z nizko vrednostjo in enakomerno mikrostrukturo, tako da lahko delo ekipe redno uživa dosledne toplotne značilnosti, natančen razmik rezin in neprimerljivo odpornost na kemično razgradnjo.

SEMEMOREX SICrezine čolnovso nujen element visokotemperaturne obdelave polprevodnikov. Silicijeve karbidne rezine z visoko čistostjo imajo neprimerljive značilnosti materiala, oblikovano odličnost in temperament brez mikrokontaminacije, omogočajo izbiro visoke ravni za visoko zmogljivo izdelavo rezin. Semicorex zagotavlja zanesljivost in inovativno visoko zmogljivost za podporo vašim najbolj kritičnim polprevodniškim procesom.