> Izdelki > Keramika > Silicijev karbid (SiC) > Vaferski čoln za polprevodniški postopek

Izdelki

novi izdelki

Vaferski čoln za polprevodniški postopek

Semicorex ponuja ladice za rezine, podstavke in nosilce za rezine po meri za navpične/stolpne in vodoravne konfiguracije. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj prevleke iz silicijevega karbida. Naš čoln z rezinami za polprevodniški proces ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process, najboljša rešitev za ravnanje z rezinami in zaščito v proizvodnji polprevodnikov. Naš čoln z rezinami za polprevodniški postopek je izdelan iz visokokakovostnega silicijevega karbida, ki ima dobro odpornost proti koroziji in odlično odpornost na visoke temperature in toplotni šok. Napredna keramika zagotavlja odlično toplotno odpornost in plazemsko obstojnost, hkrati pa blaži delce in onesnaževalce za visoko zmogljive nosilce rezin.

Parametri rezin za polprevodniški postopek

Tehnične lastnosti
Kazalo	Enota	Vrednost
Ime materiala		Reakcijsko sintran silicijev karbid	Breztlačno sintran silicijev karbid	Rekristaliziran silicijev karbid
Sestava		RBSiC	SSiC	R-SiC
Nasipna gostota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Upogibna trdnost	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C)
Tlačna trdnost	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Trdota	Gumb	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Toplotna prevodnost	W/m.k	95	120	23
Koeficient toplotnega raztezanja	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifična toplota	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Največja temperatura v zraku	℃	1200	1500	1600
Modul elastičnosti	Gpa	360	410	240

Lastnosti Wafer Boat za polprevodniški postopek

Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je oblikovan tako, da ne pride do razpok in razslojevanja.