Nosilec za čoln Wafer

Semicorex Wafer Boat Carrier je izdelan iz grafita, ki je znan po izjemnem razmerju med trdnostjo in težo ter toplotni prevodnosti. Da bi povečali svojo vzdržljivost, pa je vsaka posoda podvržena postopku prevleke CVD SiC. Ta premaz ne le okrepi čoln pred težkimi delovnimi okolji, ampak ga tudi ščiti pred kemično korozijo in toplotnimi šoki, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo in zanesljivost tudi v najzahtevnejših pogojih.

Nosilec za čolne Wafer je zasnovan z natančno pozornostjo do podrobnosti. Njegova struktura je optimizirana za največjo učinkovitost in varnost, z natančnimi merami in skrbno zasnovanimi geometrijami, ki zagotavljajo varno in stabilno namestitev občutljivih polprevodniških rezin med obdelavo. To zmanjša tveganje za poškodbe ali kontaminacijo.

Wafer Boat Carrier je vsestranska rešitev, ki jo je mogoče prilagoditi številnim aplikacijam. Lahko se uporablja pri epitaksialni rasti, kemičnem naparjevanju in drugih postopkih izdelave polprevodnikov. Zaradi njegove robustne konstrukcije in kemične inertnosti je združljiv s širokim naborom procesnih kemij, kar zagotavlja brezhibno integracijo v različna procesna okolja.