Vakuumski chucks

Semicorex Vacuum Chucks so natančno opremljene rešitve, ki so namenjene zagotavljanju varnih, stabilnih in učinkovitega ravnanja s rezinami v procesih izdelave polprevodnikov. Ti sesalniki se uporabljajo predvsem za držanje rezin v različnih fazah obdelave, kar zagotavlja minimalno škodo rezine, največjo stabilnost in povečano učinkovitost procesa. Naši sesalniki so na voljo v različnih osnovnih materialih in keramičnih ploščah, ki ponujajo prilagojene rešitve za zadovoljevanje raznolikih potreb polprevodniške industrije in drugih natančnih industrij.

Ključne lastnosti in materiali

Semicorex ponuja vrsto možnosti osnovnega materiala za vakuumski Chuck, kar omogoča prilagajanje na podlagi posebnih zahtev za uporabo:

Osnovni materiali:

• SUS430: osnovni material iz nerjavečega jekla, znan po trdnosti in korozijski odpornosti, kar zagotavlja odlično mehansko stabilnost.
• Aluminijasta zlitina 6061: Lahka, a močna, ta aluminijasta osnova ponuja visoko korozijsko odpornost in je idealna za aplikacije, kjer je teža skrb.
• Alumina keramika (99% alumina): ponuja visoko toplotno stabilnost in odpornost na obrabo. Je odlična izbira za visoko natančno okolje, kjer je toplotna odpornost kritična.
• Granit: Znan po svoji togosti in vrhunskih lastnostih, ki se pojavljajo v vibracijah, Granit ponuja odlično stabilnost in natančnost med ravnanjem z režami.
• Keramika iz silicijevega karbida (sic): ponuja visoko trdoto, toplotno prevodnost in odpornost proti kemični koroziji. Je kot nalašč za visokotemperaturno in agresivno okolje.

Keramični krožniki:

ALUMINA (AL₂O₃): Plošče iz alumina so znane po visokih električnih izolacijskih lastnostih, odpornosti na obrabo in visoki temperaturni stabilnost. Primerni so za okolje, kjer sta ključnega pomena minimalna kontaminacija in visoka zmogljivost.

Silicijev karbid (SIC): Keramične plošče SiC zagotavljajo izjemno trdoto, visoko toplotno prevodnost in stabilnost pri povišanih temperaturah, zaradi česar so idealni za napredne procese ravnanja z rezinami v proizvodnji polprevodnikov.

Natančnost in izbira materiala

Ravnanost površine Chucka je ključni dejavnik pri zagotavljanju pravilnega ravnanja z rezinami in optimalnimi rezultati procesa. Izbira materiala vpliva na natančnost ravnine, pa tudi na skupno težo in toplotne lastnosti vakuumskega chucka.

Natančnost ravni:

Aluminijasta zlitina 6061: Omogoča odlično ploščo z natančnostjo, zaradi česar je priljubljena izbira za manj zahtevne naloge za ravnanje z rezinami.

SUS430: Medtem ko ponuja trdno mehansko stabilnost, ima SUS430 nekoliko nižjo natančnost ravnenja kot aluminijasta zlitina.

Alumina keramika (99% alumina): nudi najboljšo natančnost ravnosti zaradi visoke dimenzijske stabilnosti pri visokih temperaturah in mehanskem stresu.

Granit: Znan po svoji stabilnosti, Granit zagotavlja natančno ploščnost, zlasti v vibracijskih občutljivih okoljih.

Keramika iz silicijevega karbida: zagotavlja izjemno natančnost rav in je idealen za visoko natančno ravnanje z rezinami pri visokotemperaturnih aplikacijah.

Uteži

Teža vakuumskega Chucka je še en pomemben dejavnik, zlasti za aplikacije, kjer je ključna dejanja Chuckova enostavnost ravnanja in manipulacije.