Susceptorji za reaktorje MOCVD

Semicorexovi susceptorji za reaktorje MOCVD so visokokakovostni izdelki, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksijski polprevodnik. Naš izdelek je na voljo v obliki zobnika ali obroča in je zasnovan za doseganje visokotemperaturne oksidacijske odpornosti, zaradi česar je stabilen pri temperaturah do 1600 °C.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naši susceptorji za reaktorje MOCVD so izdelani s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja, kar zagotavlja visoko čistost. Površina izdelka je gosta, z drobnimi delci in visoko trdoto, zaradi česar je odporen proti koroziji na kisline, alkalije, soli in organske reagente.
Naši susceptorji za reaktorje MOCVD so zasnovani tako, da zagotavljajo premaz na vseh površinah, preprečujejo luščenje in dosegajo najboljši vzorec laminarnega pretoka plina. Izdelek zagotavlja enakomernost toplotnega profila in preprečuje morebitno kontaminacijo ali difuzijo nečistoč med procesom, kar zagotavlja visokokakovostne rezultate.
Pri Semicorexu dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri susceptorjev za reaktorje MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč