Silicijev nosilec rezin

Semicorex zagotavlja polprevodniško keramiko za vaša orodja za polprevodniško proizvodnjo OEM in komponente za ravnanje z rezinami, ki se osredotočajo na plasti silicijevega karbida v industriji polprevodnikov. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj nosilca za silicijeve rezine. Naš Silicon Wafer Carrier ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Postopki nanašanja polprevodnikov uporabljajo kombinacijo hlapnih predhodnih plinov, plazme in visoke temperature za nanos visokokakovostnih tankih filmov na rezine. Komore za nanašanje in orodja za ravnanje z rezinami potrebujejo trpežne keramične komponente, da so kos tem zahtevnim okoljem.
Semicorex Silicon Wafer Carrier je silicijev karbid visoke čistosti, ki ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost.

Parametri nosilca silicijeve rezine

Tehnične lastnosti
Kazalo	Enota	Vrednost
Ime materiala		Reakcijsko sintran silicijev karbid	Breztlačno sintran silicijev karbid	Rekristaliziran silicijev karbid
Sestava		RBSiC	SSiC	R-SiC
Nasipna gostota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Upogibna trdnost	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C)
Tlačna trdnost	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Trdota	Gumb	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Toplotna prevodnost	W/m.k	95	120	23
Koeficient toplotnega raztezanja	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifična toplota	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Največja temperatura v zraku	℃	1200	1500	1600
Modul elastičnosti	Gpa	360	410	240

Razlika med SSiC in RBSiC:

1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.

2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.

3. Različni časi uporabe pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC

Značilnosti nosilca silicijevih rezin

SiC prevlečen grafit visoke čistosti
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne pride do razpok in razslojevanja.

Razpoložljive oblike keramike iz silicijevega karbida:

● Keramična palica / keramični zatič / keramični bat

● Keramična cev / keramična puša / keramični tulec

● Keramični obroč / keramična podložka / keramični distančnik

● Keramični disk

● Keramična plošča / keramični blok

● Keramična krogla

● Keramični bat

● Keramična šoba

● Keramični lonček

● Drugi keramični deli po meri