Semicorexova silikonska jedkalna plošča za aplikacije jedkanja PSS je visokokakovosten, ultra čist grafitni nosilec, ki je posebej zasnovan za epitaksialno rast in postopke ravnanja z rezinami. Naš nosilec lahko prenese težka okolja, visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Silikonska plošča za jedkanje za aplikacije jedkanja PSS ima odlične lastnosti porazdelitve toplote, visoko toplotno prevodnost in je stroškovno učinkovita. Naši izdelki se pogosto uporabljajo na številnih evropskih in ameriških trgih in veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Semicorexova silikonska jedkalna plošča za aplikacije jedkanja PSS je zasnovana za najzahtevnejše aplikacije opreme za epitaksijo. Naš izjemno čisti grafitni nosilec lahko prenese težka okolja, visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Nosilec, prevlečen s SiC, ima odlične lastnosti porazdelitve toplote, visoko toplotno prevodnost in je stroškovno učinkovit.
Parametri silicijeve plošče za jedkanje za aplikacije jedkanja PSS
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Značilnosti silicijeve plošče za jedkanje za aplikacije jedkanja PSS
- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč