Nosilna plošča za jedkanje PSS za polprevodnike

Nosilna plošča Semicorex PSS za jedkanje za polprevodnike je posebej zasnovana za visokotemperaturna in ostra kemična čistilna okolja, potrebna za epitaksialno rast in postopke ravnanja z rezinami. Naša izjemno čista nosilna plošča za jedkanje PSS za polprevodnike je zasnovana za podporo rezinam med fazami nanašanja tankega filma, kot so MOCVD in susceptorji za epitaksijo, palačinke ali satelitske platforme. Naš nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, odlične lastnosti porazdelitve toplote in visoko toplotno prevodnost. Našim strankam nudimo stroškovno učinkovite rešitve, naši izdelki pa pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Semicorex se veseli, da bo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Nosilna plošča PSS za jedkanje za polprevodnike podjetja Semicorex je idealna rešitev za faze nanašanja tankih filmov, kot so MOCVD, epitaksijski sprejemniki, plošče za palačinke ali satelitske platforme, in obdelava obdelave rezin, kot je jedkanje. Naš izjemno čisti grafitni nosilec je zasnovan tako, da podpira rezine in vzdrži ostro kemično čiščenje in visokotemperaturna okolja. Nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, odlične lastnosti porazdelitve toplote in visoko toplotno prevodnost. Naši izdelki so stroškovno učinkoviti in imajo dobro cenovno ugodnost.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naši nosilni plošči PSS za jedkanje za polprevodnike.

Parametri nosilne plošče za jedkanje PSS za polprevodnike

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti nosilne plošče za jedkanje PSS za polprevodnike

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini

Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C

Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.

Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.

Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina

- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila

- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč

Hot Tags: Nosilna plošča za jedkanje PSS za polprevodnike, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, v razsutem stanju, napredna, vzdržljiva

Oznaka izdelka

Povezana kategorija