PSS nosilec za jedkanje za obdelavo rezin

Semicorexov PSS nosilec za jedkanje za obdelavo rezin je posebej zasnovan za uporabo zahtevne opreme za epitaksijo. Naš izjemno čisti grafitni nosilec je idealen za faze nanašanja tankih filmov, kot so MOCVD, epitaksijski sprejemniki, plošče za palačinke ali satelitske platforme, in obdelavo obdelave rezin, kot je jedkanje. Nosilni pladenj PSS za jedkanje za obdelavo rezin ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, odlične lastnosti porazdelitve toplote in visoko toplotno prevodnost. Naši izdelki so stroškovno učinkoviti in imajo dobro cenovno ugodnost. Poskrbimo za številne evropske in ameriške trge in se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Nosilni pladenj PSS Etching Carrier za obdelavo rezin podjetja Semicorex je zasnovan za težka okolja, potrebna za epitaksialno rast in postopke ravnanja z rezinami. Naš izjemno čisti grafitni nosilec je zasnovan za podporo rezinam med fazami nanašanja tankih filmov, kot so MOCVD in epitaksijski suceptorji, palačinke ali satelitske platforme. Nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, odlične lastnosti porazdelitve toplote in visoko toplotno prevodnost. Naši izdelki so stroškovno učinkoviti in ponujajo dobro cenovno ugodnost.

Parametri nosilnega pladnja za jedkanje PSS za obdelavo rezin

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300