Semicorex razvija polprevodniško keramiko za vaša OEM orodja za polizdelavo in komponente za ravnanje z rezinami. Naš čoln iz silicijevega karbida ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Semicorexov Silicon Carbide Wafer Boat, ki se ponaša z izjemno visoko čistostjo (do 99,99 %), odlično odpornostjo na plazmo in toploto ter omejeno pojavnostjo delcev, se uporablja v delih opreme za obdelavo polprevodnikov, vključno s strukturnimi komponentami in orodji.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih čolnov iz silicijevega karbida, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem čolnu iz silicijevega karbida.
Parametri čolna iz silicijevega karbida
Tehnične lastnosti |
||||
Kazalo |
Enota |
Vrednost |
||
Ime materiala |
Reakcijsko sintran silicijev karbid |
Breztlačno sintran silicijev karbid |
Rekristaliziran silicijev karbid |
|
Sestava |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Nasipna gostota |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Upogibna trdnost |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C) |
Tlačna trdnost |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Trdota |
Gumb |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Toplotna prevodnost |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeficient toplotnega raztezanja |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifična toplota |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Največja temperatura v zraku |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modul elastičnosti |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Razlika med SSiC in RBSiC:
1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.
2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.
3. Različni uporabljeni časi pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC
Značilnosti čolna iz silicijevega karbida
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne pride do razpok in razslojevanja.