Silicijev karbidni vakuumski chuck

Semicorex Silicon karbid vakuumski Chuck je pomemben del proizvodnje polprevodnikov za procese, ki potrebujejo visoko natančnost in nizko kontaminacijo. Vakuumski chucks so izdelani iz porozne keramike silicijevega karbida z visoko čistočo in zagotavljajo odlično mehansko trdnost, toplotno prevodnost in kemično inertnost ter ima natančno nadzorovano strukturo pora za zanesljivo zadrževanje vakuuma. Silicijev karbidni vakuumski Chuck je funkcionalna adsorpcijska naprava, narejena iz keramičnega materiala iz silicijevega karbida (SIC), ki se opira na negativni tlak vakuuma, elektrostatično adsorpcijo ali mehansko vpenjanje, da se zagotovi stabilno dojemanje obdelovanja. Vakuumski chucks se uporabljajo v polprevodnikih, fotovoltaikih, natančni proizvodnji in drugih aplikacijah, ki imajo izjemno veliko zahtevo po materialni visoki temperaturni odpornosti, odpornosti na obrabo in čistosti.

OsnovoChuckje porozni sic material, ki ima predvidljivo zračno prepustnost po svoji površini. To pomeni, da je mogoče varno adsorbirati rezino brez mehanskega vpenjanja in zato nematerializirati potencial fizične poškodbe ali kontaminacije vzorca. Poroznost materiala je tesno nadzorovana - običajno ima poroznost 35-40% -, da zagotovi pravilno porazdelitev vakuuma, hkrati pa izpolnjuje strukturne zahteve za trajno toplotno in mehansko kolesarjenje.

Varujske rezineso običajno narejeni iz trde površine z veliko majhnimi luknjami ali kanali na površini. Skozi te majhne luknje je mogoče povezati z vakuumsko črpalko, ki ustvarja vakuumski učinek. Ko je rezina nameščena na Chuck, se vakuumska črpalka vklopi in zrak vleče skozi majhne luknje, kar ustvari vakuum med rezino in chuckom. Ta vakuumski učinek ustvarja dovolj sesanja, da trdno pritrdi rezino na površino.

Keramične površine se pogosto uporabljajo v aplikacijah, ki zahtevajo visoko čistost in kemično stabilnost. Keramika so materiali, ki nastanejo z visokotemperaturno fuzijo mineralov. Na splošno so keramika električni izolatorji ali polprevodniki in imajo veliko odpornost proti toplotnemu razpadu, eroziji in poškodbah.

Semicorex gradi po meri silicijevega karbida vakuuma za kupce za specifikacije za stvari, kot so dimenzije, poroznost, površinska zaključek in vzorci za kanalizacijo vakuuma. Kot rezultat naših zmogljivosti za proizvodnjo in čiste sobe ponujamo najboljše pri odstranjevanju delcev in čistosti, da sprejmemo potrebe po čistoči vseh proizvajalcev polprevodnikov in opreme.

Lahko naredimo cucka za poljubno velikosti rezin, od 2-palčne do 12-palčne rezine in prilagajanje, da se vpletemo v množico opreme za predelavo rezin. Uporablja se lahko za procese sprednjega dela in/ali zadnjega dela, zaradi česar sic vakuum v potek polprevodniške fabe podpira varčno, natančno, stabilno in brez kontaminacije.

Silicijev karbidni vakuumski Chuck je bistveno orodje v današnji proizvodnji polprevodnikov, ki združuje najboljše materiale in inženiring. Trpežna in adherentna zanesljivost s toplotnimi in kemijskimi skrajnostmi omogoča popolno podporo pri aplikacijah, ki vključujejo, voskanje, redčenje, čiščenje in RTA. Z nabavo vakuumskega silicijevega karbida skozi Semicorex zagotovite najboljšo čistost materiala, rešitve po meri in zanesljive zmogljivosti za vrhunske rezultate v vseh vaših obdelavi rezin.