Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil natančno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Semicorex zagotavlja polprevodniško keramiko za vaša OEM polproizvodna orodja in komponente za ravnanje z rezinami. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj prevleke iz silicijevega karbida. Naš SiC osni tulec ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeNapredne komponente Semicorex visoke čistosti, prevlečene s silicijevim karbidom, so izdelane tako, da prenesejo ekstremna okolja v procesu ravnanja z rezinami. Naša polprevodniška vpenjalna glava ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeIzjemno čiste keramične komponente Semicorex, ki so kot nalašč za uporabo v litografiji naslednje generacije in ravnanju z rezinami, zagotavljajo minimalno kontaminacijo in zagotavljajo izjemno dolgo življenjsko dobo. Naše vakuumske vpenjalne glave za rezine imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVzdržljivi fokusni obroči Semicorex za obdelavo polprevodnikov so zasnovani tako, da prenesejo ekstremna okolja komor za plazemsko jedkanje, ki se uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Naši fokusni obroči so narejeni iz grafita visoke čistosti, prevlečenega z gosto, proti obrabi odporno prevleko iz silicijevega karbida (SiC). Prevleka SiC ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da izboljšamo življenjsko dobo naših fokusnih obročev.
Preberi večPošlji povpraševanjeFokusni obroč za plazemsko obdelavo Semicorex je posebej zasnovan za izpolnjevanje visokih zahtev obdelave s plazemskim jedkanjem v industriji polprevodnikov. Naše napredne komponente s prevleko iz silicijevega karbida visoke čistosti so narejene tako, da prenesejo ekstremna okolja in so primerne za uporabo v različnih aplikacijah, vključno s plastmi silicijevega karbida in epitaksijskimi polprevodniki.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex napredni fokusni obroči iz SiC visoke čistosti so izdelani tako, da prenesejo ekstremna okolja v komorah za plazemsko jedkanje (ali suhim jedkanjem). Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje