Sic čolni iz vodoravne komore

Sic čolni SIC s polkovodilnimi komorami so visoko zasnovan del, ki drži in nosi rezine ali substrate, medtem ko so podvrženi visokotemperaturni toplotni obdelavi v horizontalni komorni peči. Vafer čoln je narejen iz visoke čistosti sic Silicijev karbid (sic), ki zagotavlja edinstveno kombinacijo trdnosti, toplotne stabilnosti in visoke kemične odpornosti, ki jih zahtevajo v polprevodniških, fotovoltaičnih in naprednih keramičnih procesih. Čoln za rezine deluje tudi kot toga struktura, da drži rezine v položaju, dimenzijska stabilnost in natančnost rezin ne bosta izgubljena s podaljšano izpostavljenostjo ekstremnim temperaturam procesa.

Vrhunske lastnosti silicijevega karbida zagotavljajo sic horizontalne komore sic sic prednosti vrhunske zmogljivosti v primerjavi s tipičnimi materiali za rezinske čolne, kot sta kremen ali glinica. Bolje lahko vzdržijo redke cikle ogrevanja in hlajenja s kratkimi službami zaradi visoke talilne točke, odpornosti na toplotni udar in mehanske trdnosti, ne glede na hitrost ogrevanja in hlajenja ali skrajnosti toplotnega cikla. Ker se vodoravna peč v celoti opira na skladnost položajev rezin in izpostavljenost pogojev procesa, pravilno poravnava rezin zagotavlja dosleden donos procesa in ponovljivost. Nizek koeficient toplotne ekspanzije pomeni, da čoln ne bo izkrivljal v svojem življenju in zagotavljal zadržano obliko in razmik rezin.

Finozrnata, gosta struktura rekristaliziranega SIC zagotavlja izjemno odpornost na oksidacijo, korozijo in kontaminacijo s procesnimi plini in stranskimi produkti. Zaradi tega je čoln še posebej ugoden za procese v agresivnih atmosferi, kot so difuzija, oksidacija, LPCVD in žarjenje. Visoka kemična inertnost SIC se izogne ​​reakcijam s površinami rezin, s čimer ohranja čistost izdelkov in zmanjšuje proizvodnjo delcev v peči. SIC čolni lahko pomagajo proizvajalcem, ki morajo izpolnjevati stroge potrebe po čistosti, zagotavljajo čistejša procesna okolja in izboljšajo kakovost rezin.

Te čolne se lahko proizvajajo z različnimi kompleksnimi geometrijami in delno specifičnimi dimenzijami z natančno obdelavo in oblikovanjem tehnik. Oblike običajno uporabljajo več vzporednih rež/utorov, da se rezine varno držijo v vodoravni orientaciji in enakomerno izpostavijo celotno površino rezin toplotnim pogojem. Razmik med režo in režo in koti je mogoče optimizirati tudi za namestitev rezin drugih premerov, kot so 150 mm, 200 mm ali 300 mm, in neposreden pretok zraka med obdelavi, hkrati pa še vedno doseganje temperaturne enakomernosti za obdelavo.

Ne le, da je lahko horizontalna komorna peči zasnovana v standardnih odhodih, ampak so lahko zasnovana za delo z avtomatiziranimi nakladalci rezin, kar ima za posledico brezhibno integracijo v sodobne proizvodne linije z visoko prepustnostjo. Močan dizajn bo tudi čolni manj verjetno, da se bodo med rokovanjem znižali ali zlomili in zmanjšali čas izpadov in stroške za zamenjave.

Toplotna prevodnostSilicijev karbidPredstavlja še eno ključno prednost, ki olajša učinkovit prenos toplote med rezinami in okoljem peči. Prednost je, da lahko proizvajalci dosežejo bolj enotne pogoje obdelave in skrajšajo čase cikla, kar lahko poveča učinkovitost proizvodnje. Čolni SIC zagotavljajo dosledne in ponovljive rezultate, ne glede na to, ali se uporabljajo za izdelavo polprevodniških rezin, proizvodnjo sončnih celic ali druge napredne obdelave materialov pri povišanih temperaturah.

Če povzamemo, so čolni s horizontalnimi komornimi peči ključna sestavina za proizvajalce, ki želijo proizvajati rezine z visokozmogljivimi, dolgotrajnimi in kontaminacijskimi nosilnimi rezinami. Ima mehansko trdnost, toplotno stabilnost in kemično inerstnost, ki je v horizontalnih pečeh neprimerna. Z izbiro čolnov iz silicijevega karbida lahko operaterji izkoristijo boljši nadzor procesov, večje donose in zmanjšajo operativne prekinitve zaradi vzdrževanja. Na splošno zagotavlja učinkovitejše, stroškovno učinkovite produkcije.