Sic navpični čolni

Vertikalni čolni SIC SIC so oblikovani nosilci rezin, zasnovani in izdelani tako, da zagotavljajo najvišjo toplotno, mehansko in kemično stabilnost za navpično predelavo peči. Zgrajena iz visoke čistostiSilicijev karbid, Verjamemo, da so najboljše ravnovesje moči, trajnosti in čistoče za zelo napredno toplotno obdelavo rezin, ki so v navpičnih sistemih peči opažene kot oksidacija, difuzija, LPCVD in žarjenje.

Okolje za obdelavo vertikalnih peči zahteva sistem za podporo režem, ki lahko prenese večkratne izpostavljenosti pri visoki temperaturi, pogosto presega 1.200 ° C in ostanejo dimenzionsko stabilno brez težav z onesnaženjem. Sic navpični čolni se v teh situacijah odlikujejo v svoji robustnosti zaradi notranje mehanske in toplotne lastnosti rekristaliziranega ali KVB silicijevega karbida. Njihov izjemno nizek koeficient toplotne ekspanzije zagotavlja minimalno upogibanje ali popačenje zaradi hitrega toplotnega kolesarjenja. Poleg tega visoka toplotna prevodnost ponuja največjo lokalno temperaturno homogenost na vseh rezinah, kar je ključnega pomena za konsistenco rezin in voda v debelini plasti, dopinških profilov in električnih zmogljivosti; Pomembni vidiki proizvodnje z veliko količino v industriji polprevodnikov.

V primerjavi s tradicionalnimi kremenčevimi čolni, sic navpični čolni zagotavljajo vrhunsko mehansko moč in podaljšano življenjsko dobo. Quartz sčasoma postane krhek in devitrificira, zlasti pri agresivnih kemičnih peči, kar vodi do večjih nadomestnih stroškov in morebitnih prekinitev proizvodnje. V nasprotju s tem silicijev karbid ohranja svojo celovitost tudi po dolgotrajni izpostavljenosti korozivnim plinom, kot so klor, HCL ali amoniak, ki so pogosti v različnih procesih difuzije in LPCVD. Njegova izjemna odpornost na obrabo in oksidacijo močno zmanjša nastajanje delcev, kar pomaga varovati površine rezin pred kontaminacijo in nastajanjem napak.

SIC navpični čolni ponujajo tudi veliko korist v smislu ultra-čiste obdelave. Visokopamurni material SIC se obdeluje pod strogo skrbnostjo, da se zmanjša prepoznavne kovine kontaminiranja v sledovih, ki lahko motijo ​​operativne značilnosti polprevodniških naprav. SIC navpične površine čolnov so dobro zaključene z desnimi zvijanimi lastnostmi, ki zmanjšujejo možnost, da se mikro delci odstranijo. SIC površine so kemično inertne in ne reagirajo s procesnimi plini in so zato manj nagnjene k kontaminaciji. V tem pogledu so SIC navpični čolni zelo primerni za sprednji konec linije (FEOL) in zadnji del obdelave rezin (BEOL).

SIC navpični čolni ponujajo tudi prožnost oblikovanja. Vsak navpični čoln je lahko specifičen za oblikovanje, da lahko sprejme več premerov rezin (150 mm, 200 mm ali 300 mm rezine), število rež in razmik pa se lahko uporabi za izpolnjevanje postopkov. Natančna obdelava in dimenzionalni nadzor omogočata pravilno poravnavo rezin in podporo rezine, ki zmanjšuje verjetnost kakršnih koli mikro-skodelic ali stresnih razpok med nalaganjem, obdelavo in razkladanjem. Če je za določen postopek potrebna vrhunska temperaturna enotnost in / ali manj toplotne mase, se lahko optimizirane geometrije in modele reže vključijo v kontikuracije navpičnih čolnov, ne da bi pri tem žrtvovali mehanske lastnosti.

Druga prednost je vzdrževanje in operativna učinkovitost. Toga konstrukcijaSicNavpični čolni skrajša čas nadomestitve in frekvenco, s čimer zmanjšajo izpadanje ali stroške lastništva. Termična udarna odpornost SIC omogoča krajši cikli ogrevanja in hlajenja, da se na proizvodnih linijah večji pretok. Tudi vzdrževanje ali čiščenje sic navpičnih čolnov je zelo preprosto; Material lahko zdrži večino običajnih procesov mokrega ali suhega čiščenja, ki so pogosti v polprevodniških famotah, kot so kemično čiščenje s kislinami in visoko temperaturno peko.

V tej moderni dobi sofisticirane izdelave polprevodnikov, kjer imajo izboljšanje donosa, nadzor kontaminacije in stabilnost v procesu vse pomembne, sic navpični čolni ponujajo resnično tehnološko prednost. Dobro se ukvarjajo s fizikalnimi in kemičnimi izzivi vertikalnih aplikacij za peč in prispevajo k splošni optimizaciji procesov z zagotavljanjem celovitosti rezin, doslednih rezultatov in daljšo življenjsko dobo opreme.