Sic cevi

Polmočne sic cevi so keramični deli za polprevodniške peči.  Imajo edinstvene lastnosti, ki vključujejo visok toplotni prenos in visokotemperaturno in kemično odpornost, ki je potrebna pri polprevodniških aplikacijah, kjer obstajajo ekstremni visokotemperaturni in kemični okoljski pogoji, ki se pričakujejo in kjer so lastnosti zaželene - trajnost, energetska učinkovitost in edinstvene stalne procese - ki omogočajo ekonomično v naprednem polprevodniškem okolju.

Polmične sic cevi uporabljajo finozrnato čistočoSilicijev karbidTo je izdelano tako, da ima izjemno visokotemperaturno mehansko stabilnost kot rezultat naprednih metod in rekristalizacijskih metod in tehnik. Omogočanje visokozmogljivega SIC povzroči izjemno mehansko trdnost in zadrževanje toplotne stabilnosti pri visokih delovnih temperaturah. SIC ima izjemno trdoto, ki ublaži obrabo ali potencialno deformacijo.  Poleg tega so atributi, povezani z lastnosti SIC, koeficient toplotne ekspanzije z nizkim gorivom koristni, ker omejujejo toplotni stres, saj bodo zahteve za kolesarjenje tega materiala med ekstremno visoko in nizko obratovalno toploto. V vseh teh premislekih imajo posebno pripomoček za idealne aplikacije v difuzijskih pečeh, oksidacijskih peči in sistemih LPCVD/PECVD za vzdrževanje največjih stabilnih pogojev procesa so koristi, da odpravijo ali omejujejo okvare, ki so tudi metrike, povezane z rezino ali materialom z zelo stabilnimi, celo procesnimi pogoji.

Druga pomembna uporabnost sic cevi so visoki profili toplotne prevodnosti v specifičnih pogojih in ustrezne modele peči za proizvodnjo visokih stopenj prevodne in bistveno enakomerno in enakomerno porazdelitev temperature v celotnem postopku.  To zanesljivo vedenje dovoljuje, da so se v razumnih časovnih intervalih izpostavile pol-enake porazdelitve temperature in poleg tega omejili toplotne gradiente, da ublažijo izkrivljene in/ali napačne rezine z ravnim dnom, hkrati pa izboljšajo bolj enakomerne pogoje nanašanja filma.

Kemična stabilnost in odpornost je še en pomemben dejavnik učinkovitosti.  V polprevodniških procesih je cev za peč podvržena vplivu visoko reaktivnih plinov, vključno z kisikom, vodikom, amonijakom in vsemi halogeni, ki lahko hitro razgradijo običajne materiale. Gosta in neporozna mikrostruktura, skupaj s kemično inertno naravo SIC, jo ščiti pred oksidacijo in korozijo, hkrati pa zagotavlja operativne in mehanske zmogljivosti v ekstremnem procesnem okolju.  Trajnost sic peči jim pomaga ohranjati celovitost oblike in dimenzijske natančnosti v daljšem časovnem obdobju, kar je pomembno za nadzor in stabilnost procesa.

Sic cevi se lahko izdelujejo v širokem razponu velikosti in debeline stene, geometrijsko oblikovane tako, da ustrezajo modelom peči in potrebe po procesih.  Natančne natančne lastnosti obdelave se vzdržujejo tudi med načrtovanjem in proizvodnjo cevi SIC, tako da so lahko delovne tolerance tesne, z gladkimi notranjimi površinami in odlično koncentričnostjo za ohranjanje ravnovesja laminarnega pretoka plina in enakomernih termičnih profilov. Površinsko poliranje in prevleke je mogoče zagotoviti kot možnosti zdravljenja, ki bodo izboljšale delovanje z zmanjšanjem nastajanja delcev in izboljšanjem korozijske odpornosti.

Sic cevi imajo jasne operativne in stroškovne prednosti v primerjavi z alternativnimi materiali, kot so kremenčeve ali cevi iz glinice.  Začetni stroški za komponente SIC so lahko nekoliko višji, vendar življenjska doba izdelka, zmanjšanje zloma in nižje zahteve glede vzdrževanja povzročijo skupne stroške lastništva, ki so nižji stroški kot alternativni materiali in cevi.

Za zaključek, SemicorexSicCevi so najboljša možnost za uporabo polprevodniških peči, saj zagotavljajo najboljšo toplotno zmogljivost, mehansko trdnost, kemično odpornost in zanesljivost za zahtevna proizvodna okolja. Ta material izboljšuje stabilnost procesa in pomaga pri prihrankih in učinkovitosti stroškov na cesti (tj. Nižja poraba energije). Sic cevi so temeljni material za sodobno izdelavo polprevodnikov.