Semicorex ponuja ladice za rezine, podstavke in nosilce za rezine po meri za navpične/stolpne in vodoravne konfiguracije. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj prevleke iz silicijevega karbida. Naš čoln iz keramičnih rezin iz silicijevega karbida ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Semicorex keramični čoln za rezine iz silicijevega karbida, najboljša rešitev za ravnanje z rezinami in zaščito v proizvodnji polprevodnikov.
Naš čoln iz keramičnih rezin iz silicijevega karbida je izdelan iz visokokakovostnega materiala, prevlečenega s plastjo silicijevega karbida (SiC), ki se uporablja po metodi CVD, ki ima dobro odpornost proti koroziji in odlično odpornost na visoke temperature in toplotni šok. Napredna keramika zagotavlja odlično toplotno odpornost in plazemsko obstojnost, hkrati pa blaži delce in onesnaževalce za visokozmogljive nosilce rezin.
Parametri čolna iz keramičnih rezin iz silicijevega karbida
Tehnične lastnosti |
||||
Kazalo |
Enota |
Vrednost |
||
Ime materiala |
Reakcijsko sintran silicijev karbid |
Breztlačno sintran silicijev karbid |
Rekristaliziran silicijev karbid |
|
Sestava |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Nasipna gostota |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Upogibna trdnost |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C) |
Tlačna trdnost |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Trdota |
Gumb |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Toplotna prevodnost |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeficient toplotnega raztezanja |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifična toplota |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Največja temperatura v zraku |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modul elastičnosti |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Razlika med SSiC in RBSiC:
1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.
2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.
3. Različni časi uporabe pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC
Značilnosti keramičnega čolna iz silicijevega karbida
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne pride do razpok in razslojevanja.