Keramične lopatice iz silicijevega karbida Semicorex so keramične komponente s konzolno strukturo, ki so natančno izdelane iz materiala iz silicijevega karbida, ki mu sledi reakcijsko sintranje. Keramične lopatice iz silicijevega karbida Semicorex kot optimalne rešitve za podporo in transport rezin se široko uporabljajo v fotovoltaični in polprevodniški industriji
Keramika iz silicijevega karbidalopatice so običajno nameščene blizu odprtine peči ali procesne komore, pri čemer je en konec pritrjen, drugi konec pa sega v peč ali procesno komoro. Med delovno obdelavo keramične lopatice iz silicijevega karbida natančno postavijo nosilec rezin, ki nosi rezine, na določeno mesto znotraj peči ali procesne komore. Po obdelavi konzolne lopatice vzamejo nosilec in ga premaknejo iz peči ali komore ter predajo robotski roki za naslednjo stopnjo rokovanja.
1. Vrhunske lastnosti in zanesljiva kakovost
Semicorex keramične lopatice iz silicijevega karbida zagotavljajo odlično stabilnost pri visokih temperaturah, visoko trdnost, visoko trdoto, kemično stabilnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja. S temi vrhunskimi lastnostmi lahko keramične lopatice Semicorex iz silicijevega karbida dolgo časa vzdržijo zahtevne pogoje delovanja, kot so visoke temperature, močna korozija, velike obremenitve in pogosto mehansko delovanje.
2. Natančna podpora in transport
Semicorex se zanaša na odlično nosilno in transportno zmogljivostkeramične lopatice iz silicijevega karbidalahko natančno pritrdi nosilce rezin na mesto, da zagotovi koncentričnost rezin glede na cevi peči, kar znatno zmanjša nedoslednost postopka, ki jo povzroči tresenje rezin in neporavnanost med postopkom.
3. Visoko učinkovito avtomatizirano delovanje
Keramične lopatice Semicorex iz silicijevega karbida običajno delujejo v povezavi z robotskimi avtomatiziranimi sistemi za nalaganje in ravnanje, da dosežejo hitro nalaganje in praznjenje rezin. To znatno skrajša procesne cikle v proizvodnji polprevodnikov in fotovoltaike, izboljša učinkovitost proizvodnje ter zmanjša stroške ročnega delovanja in tveganja napak.
1. Proizvodnja fotovoltaičnih celic
Semicorex keramične lopatice iz silicijevega karbida so zelo primerne za termične procese fotovoltaičnih celic, kot so difuzija, LPCVD in PECVD celic TOPCon in PERC. Z doseganjem enakomernosti in stabilnosti procesa te lopatice prispevajo k izboljšanju učinkovitosti pretvorbe fotovoltaičnih celic.
2. Proizvodnja polprevodniških čipov
Keramične lopatice Semicorex iz silicijevega karbida kot bistvene podporne in transportne komponente se široko uporabljajo v procesih, kot so litografija, jedkanje in nanašanje med proizvodnjo polprevodniških čipov, kar omogoča stalno stabilen prenos in natančno pozicioniranje rezin.