Silicijevi karbidni čolni

Polmonski silikonski karbidni čolni kažejo izjemno toplotno stabilnost, kar omogoča, da prenesejo ekstremne temperature, potrebne za oksidacijske in difuzijske procese. Njihova odlična odpornost na toplotni udar zmanjšuje tveganje za pokanje ali deformacijo, kar zagotavlja dolgotrajno delovno dolgo življenjsko dobo. Sestava SiC visoke gostote zagotavlja vrhunsko mehansko trdnost, ki ohranja strukturno celovitost tudi pri neprekinjenem toplotnem kolesarjenju. Ta izjemna odpornost na mehanski stres zmanjšuje verjetnost kontaminacije in zloma rezin, kar prispeva k višjim donosom procesov. Poleg tega imajo sic čolni izjemno kemično odpornost in ostanejo inertni na agresivne procesne pline, ki se uporabljajo pri oksidacijskih in difuzijskih korakih. Ta značilnost preprečuje neželene reakcije, ki bi lahko ogrozile čistost rezin in učinkovitost proizvodnje.

Silicijevi karbidni čolni se uporabljajo predvsem v oksidacijskih in difuzijskih pečih, kjer je natančen nadzor nad izpostavljenostjo rezinam visokim temperaturam in reaktivnim plinom bistvenega pomena. Podpirajo rezine med toplotno oksidacijo, da gojijo kakovostne plasti silicijevega dioksida in olajšajo enotno dopingo z nadzorovano izpostavljenostjo dopatnim plinom. Poleg tega zagotavljajo stabilno platformo za žarjenje in druge visokotemperaturne obdelave, ki zahtevajo dolgotrajno izpostavljenost toploti.

V primerjavi s tradicionalnimi kremenovimi in grafitnimi čolni, silicijevi karbidni čolni ponujajo neprimerljivo trajnost, dolgo življenjsko dobo in zmogljivost. Njihova sposobnost, da prenesejo ostro toplotno in kemično okolje in hkrati zmanjšajo kontaminacijo, je najprimernejša izbira za visoko natančno proizvodnjo polprevodnikov. S poudarkom na kakovosti in inovacijah naši čolni iz silicijevega karbida zagotavljajo vrhunske zmogljivosti, kar zagotavlja visoke donose in učinkovito obdelavo rezin za proizvajalce polprevodnikov po vsem svetu. Ne glede na to, ali so za napredne tehnologije vozlišč ali zapuščeno izdelavo polprevodnikov, ti čolni zagotavljajo zanesljivo rešitev za izpolnjevanje strogih industrijskih zahtev.

(1) Prevoz in zaščita: Silicijevi karbidni čolni nosijo polprevodniške materiale, kot so rezine, skozi svoje notranje nosilce ali reže, in uporablja visoko temperaturno in korozijsko odpornost materialov iz silicijevega karbida za zaščito rezin pred zunanjim okoljem.

(2) Enotno ogrevanje: Silicijev karbidni čoln omogoča, da se rezine v notranjosti enakomerno segrejejo med postopkom toplotne obdelave. To pomaga zagotoviti, da temperatura in reakcijska hitrost vsakega dela rezin ostaneta med postopkom obdelave toplote dosledna, s čimer se izboljšata donos in kakovost rezin.

Trenutno obstajajo tri glavne vrsteKeramika iz silicijevega karbidaMateriali: reakcijsko sintranje, sintranje brez tlaka in rekristalizacijsko sintranje. V večini aplikacij je reakcijski sintrani silicijev karbid bolj primeren in stroškovno učinkovit izdelek. Prekristalizirani sic čolni običajno sintrajo in najprej obdelajo več delov enote, nato pa uporabite sisto pasto za združevanje delov v čoln pri visoki temperaturi in na koncu nanesete prevleko CVD-SIC (približno 100um). Ker je rekristalizacija porozna, če ni premaza SiC, bo v polprevodniški proces vnesel tudi dete. Ta vrsta rekristaliziranega sic čolna s CVD-SIC prevleko ima najdaljši proizvodni postopek in je zelo drag. V primerjavi z grafitnimi čolni, prevlečenimi s sic, rekristalizirani sic-ovci s CVD-SIC nimajo težav z neusklajenostjo CTE.