SiC kaseta za rezine

Semicorex SiC kaseta za rezine, znana tudi kot ploščica za rezine, je bila razvita posebej za postopke oksidacije, difuzije in žarjenja pri temperaturah nad 1200 °C. Kasete zagotavljajo pomembno mehansko podporo, kot tudi poravnavo za več rezin hkrati med uporabo v visokotemperaturni peči ter izkazujejo veliko mehansko in dimenzijsko stabilnost med toplotno obremenitvijo in po njej.  Povpraševanje po ultra čistih in toplotno stabilnih materialih za sisteme za ravnanje z rezinami narašča, ko se polprevodniške naprave zmanjšujejo v velikosti in povečujejo zmogljivost.

Inertnost do kemikalij ščiti rezine pred reakcijo na procesne pline (npr. kisik, vodik, amoniak), ki so običajno vključeni med predelavo. Kasete z rezinami so stabilne v oksidacijskih in neoksidirajočih atmosferah in jih je mogoče vključiti v delovni tok peči prek številnih procesov, kot so oksidacija, difuzija, LPCVD in žarjenje.silicijev karbid, obstajajo tudi premazi, ki jih je mogoče uporabiti za še večje koristi. SiC ima odlično toplotno odpornost, odpornost proti koroziji in dimenzijsko deformacijsko stabilnost.  SiC ima edinstveno trdoto, kemično inertnost in toplotno prevodnost, tako da je idealen material za to procesno okolje. SiC v primerjavi z alternativami kremena in aluminijevega oksida ne bo zmanjšal svojih mehanskih in kemičnih lastnosti pri visokih temperaturah obdelave, s čimer se bo zmanjšalo tveganje kontaminacije in izboljšala enotnost postopka rezin med proizvodnimi procesi.

Ultra-visoka čistost kasete z rezinami SiC kaže odpornost na kovinske ali ionske onesnaževalce, ki vstopajo v procesno komoro; nekaj, kar je absolutno potrebno za visoko čistost za izpolnjevanje procesnih zahtev za napredne postopke izdelave polprevodnikov. Z zmanjšanjem virov kontaminantov bodo kasete s silicijevim karbidom povečale izkoristek rezin in zanesljivost naprave.

Za izpolnjevanje posebnih procesnih zahtev Semicorex ponuja prilagojene kasete za rezine SiC v različnih velikostih, številu rež in konfiguracijah. Vsaka enota je podvržena strogemu pregledu kakovosti in površinski obdelavi, da se zagotovi gladkost, čistoča in dimenzijska natančnost. Izbirno površinsko poliranje dodatno zmanjša nastajanje delcev in izboljša združljivost z avtomatiziranimi sistemi za ravnanje z rezinami.

SiC ima odlično toplotno prevodnost, dimenzijsko stabilnost in zagotavlja zanesljivo delovanje pri ponavljajočih se termičnih ciklih. Material je stabilen in se ne zvija ali poka; njegova visoka togost ohranja strukturno celovitost z visoko temperaturo v daljših časovnih obdobjih, kar znatno zmanjša mehansko obremenitev na rezinah, hkrati pa omejuje verjetnost neželenih delcev, ki nastanejo pri rokovanju zaradi trenja ali mikrovibracije.

poleg tegaSiCInertnost do kemikalij ščiti rezine pred reakcijo na procesne pline (npr. kisik, vodik, amoniak), ki so običajno vključeni med predelavo. Kasete z rezinami so stabilne v oksidacijskih in neoksidirajočih atmosferah in jih je mogoče vključiti v delovni tok peči prek številnih procesov, kot so oksidacija, difuzija, LPCVD in žarjenje.

Za izpolnjevanje posebnih procesnih zahtev Semicorex ponuja prilagojene kasete za rezine SiC v različnih velikostih, številu rež in konfiguracijah. Vsaka enota je podvržena strogemu pregledu kakovosti in površinski obdelavi, da se zagotovi gladkost, čistoča in dimenzijska natančnost. Izbirno površinsko poliranje dodatno zmanjša nastajanje delcev in izboljša združljivost z avtomatiziranimi sistemi za ravnanje z rezinami.