Nosilec rezin SiC

Semicorex SiC Wafer Carrier je specializirano vpenjalo visoke čistosti, zasnovano za podporo in transport več polprevodniških rezin skozi ekstremna okolja termične in kemične obdelave. Semicorex zagotavlja te čolne za rezine naslednje generacije z uporabo napredne tehnologije 3D tiskanja, kar zagotavlja neprimerljivo geometrijsko natančnost in čistost materiala za najzahtevnejše poteke dela za izdelavo rezin.

Nova definicija natančnosti: 3D-natisnjenoSiC visoke čistosti

Tradicionalne metode izdelave nosilcev za rezine, kot je strojna obdelava ali sestavljanje iz več delov, se pogosto soočajo z omejitvami v geometrijski kompleksnosti in celovitosti sklepov. Z uporabo aditivnega izdelave (3D tiskanje) Semicorex proizvaja nosilce rezin SiC, ki ponujajo pomembne tehnične prednosti:

Monolitna strukturna celovitost: 3D-tiskanje omogoča ustvarjanje brezšivne strukture iz enega kosa. To odpravlja šibke točke, povezane s tradicionalnim lepljenjem ali varjenjem, kar znatno zmanjša tveganje strukturne okvare ali odpadanja delcev med visokotemperaturnimi cikli.

Kompleksne notranje geometrije: napredno 3D tiskanje omogoča optimizirane zasnove rež in kanale za pretok plina, ki jih ni mogoče doseči s tradicionalno CNC obdelavo. To izboljša enakomernost procesnega plina po površini rezin in neposredno izboljša konsistenco serije.

Učinkovitost materiala in visoka čistost: Naš postopek uporablja prah SiC visoke čistosti, kar ima za posledico nosilec z minimalnimi sledmi kovinskih nečistoč. To je ključnega pomena za preprečevanje navzkrižne kontaminacije pri občutljivih postopkih difuzije, oksidacije in LPCVD (nizkotlačno kemično naparjanje).

Odlična zmogljivost v ekstremnih okoljih

Semicorex SiC Wafer Carriers so zasnovani tako, da uspevajo tam, kjer kvarc in druga keramika ne uspejo. Inherentne lastnostisilicijev karbid visoke čistostizagotavlja robusten temelj za sodobne operacije polprevodniških tovarn:

1. Vrhunska toplotna stabilnost

Silicijev karbidohranja izjemno mehansko trdnost pri temperaturah nad 1.350°C. Njegov nizek koeficient toplotnega raztezanja (CTE) zagotavlja, da ostanejo nosilne reže popolnoma poravnane tudi med fazami hitrega segrevanja in ohlajanja, kar preprečuje "hojo" rezin ali stiskanje, ki lahko povzroči drago zlom.

2. Univerzalna kemična odpornost

Od agresivnega plazemskega jedkanja do visokotemperaturnih kislinskih kopeli so naši nosilci SiC praktično inertni. Odporni so proti eroziji zaradi fluoriranih plinov in koncentriranih kislin, s čimer zagotavljajo, da dimenzije rež rezin ostanejo konstantne v več sto ciklih. Ta dolgoživost pomeni bistveno nižje skupne stroške lastništva (TCO) v primerjavi s kvarčnimi alternativami.

3. Visoka toplotna prevodnost

Visoka toplotna prevodnost SiC zagotavlja, da se toplota enakomerno porazdeli po nosilcu in učinkovito prenese na rezine. To minimizira temperaturne gradiente "od roba do središča", kar je bistvenega pomena za doseganje enotne debeline filma in profilov dopantov pri serijski obdelavi.

Industrijske aplikacije

Nosilci rezin Semicorex SiC so zlati standard za visoko zmogljivo serijsko obdelavo v:

Difuzijske in oksidacijske peči: Zagotavljanje stabilne podpore za visokotemperaturno dopiranje.

LPCVD / PECVD: Zagotavljanje enakomernega nanašanja filma v celotnih serijah rezin.

SiC epitaksija: vzdrži ekstremne temperature, potrebne za rast polprevodnikov s širokim pasovnim presledkom.

Avtomatizirano ravnanje s čistimi prostori: zasnovano z natančnimi vmesniki za brezhibno integracijo z avtomatizacijo FAB.