SiC napolitanke

Semicorex SiC Wafer Boat, izdelan iz keramike iz silicijevega karbida (SiC), je vodilni pri izpolnjevanju zahtev polprevodniške industrije z zagotavljanjem neprimerljive zmogljivosti v visokotemperaturnih okoljih. Ker polprevodniška industrija neusmiljeno premika meje mikroproizvodnje, postane povpraševanje po prožnih in robustnih materialih najpomembnejše.

SiC Wafer Boat igra ključno vlogo pri držanju in podpiranju več rezin med termičnimi procesi, kot so difuzija, oksidacija in kemično naparjevanje (CVD). Ti postopki vključujejo izpostavljanje rezin izjemno visokim temperaturam, ki pogosto presegajo 1000 °C, v kontrolirani atmosferi. Enotnost in doslednost teh toplotnih obdelav sta ključnega pomena za zagotavljanje kakovosti in delovanja polprevodniških naprav, ki se izdelujejo. Sposobnost SiC Wafer Boat, da prenese tako visoke temperature brez deformacije ali degradacije, zagotavlja, da so rezine enakomerno obdelane, kar vodi do vrhunskega izkoristka in zmogljivosti naprave.

Izjemna toplotna prevodnost rezin iz SiC zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote po vseh rezinah, kar zmanjšuje tveganje temperaturnih gradientov, ki bi lahko povzročili napake v polprevodniških napravah. Poleg tega ima SiC nizek koeficient toplotnega raztezanja (CTE) za posledico minimalno toplotno raztezanje in krčenje med cikli ogrevanja in hlajenja. Ta stabilnost je ključnega pomena za preprečevanje mehanskih obremenitev in morebitnih poškodb rezin, zlasti pri krčečih se geometrijah naprav.

Med termičnimi procesi so rezine izpostavljene različnim reaktivnim plinom, ki lahko interagirajo z materiali SiC ladice za rezine. Odlična kemična odpornost SiC-ja zagotavlja, da ne reagira s temi plini, kar preprečuje kontaminacijo in zagotavlja čistost rezin. To je še posebej pomembno pri proizvodnji naprednih polprevodniških naprav, kjer lahko že majhne količine kontaminacije povzročijo napake in zmanjšajo zanesljivost naprav.