Sic vakuumski chucks

PolkemSilicijev karbidSic vakuumski chucks so visokotehnološka keramična orodja, zasnovana za varno in zanesljivo držanje polprevodniških rezin med postopki odstranjevanja natančnosti materiala. Izdelani so za uporabo v ultra-čisti, visokotemperaturni in kemično ostri okolji. Sic Vacuum Chucks pomagajo pri zagotavljanju vrhunske adsorpcije in poravnave rezin. Semicorex Sic Vacuum Chucks so izdelani iz silicijeve karbidne keramike z visoko čistostjo, da se zagotavlja odlična mehanska trdnost, toplotno prevodnost in kemično vzdržljivost.

Glavna naloga vakuumskega kretenj je, da potegne enakomerno sesanje po površini rezin, tako da je rezina stabilna med procesi, kot so pregled, odlaganje, jedca in litografija. Tipični vakuumski chucks imajo težave z nastajanjem delcev, zvijanjem ali kemičnim poslabšanjem sčasoma. Za ekstremne proizvodne pogoje polprevodnikov bodo SIC Vacuum Chucks zagotovili vrhunsko dolgoročno trajnost in stabilnost.

Silicijevi karbidni materiali so zelo cenjeni zaradi svoje trdote, toplotne stabilnosti in nizkega koeficienta toplotne ekspanzije. Ti materiali bodo dimenzijsko stabilni pri širokem razponu temperatur, kar bo omogočilo toplotno stabilnost in izboljšano natančnost procesa brez toplotne neusklajenosti rezine. Njihova visoka toplotna prevodnost omogoča tudi hitro odpiranje toplote, kar je uporabno pri hitrih toplotnih začetnih pogojih rampe ali za kratke izpostavljenosti visokoenergetskim plazmam.

Keramika sic ne samo da ima toplotne in mehanske koristi, ampak je tudi odporna na plazemsko korozijo in agresivne procesne pline. Zaradi te funkcije sic sesalniki so še posebej ugodni za suhega jedkanja, CVD in PVD -jev, kjer se lahko z uporabo razpadejo kremenovi ali aluminijevi nitridni materiali. Kemična inertnost SIC bo pripomogla k omejevanju kontaminacije in izboljšala čas porabe orodja.

Da bi zagotovili vrhunske zmogljivosti. Semicorex naredi sic vakuumske chucks in določa izjemno tesne tolerance z ultra-flat površinami s kanalnimi strukturami v posodobitvi Microna. S temi značilnostmi zagotavlja podporo rezin z natančno sesalno in neprekinjeno sesalno območje za podporo rezin, ki se zmanjšujejo možnosti za osnovo ali lomljenje samih rezin. Storitve oblikovanja po meri so na voljo tudi za različne velikosti rezin (2 "do 12") v različnih aplikacijah.

Ker so večji donos, nadzor procesa in zanesljivost dejavniki, so sic vakuumski chucks nove bistvene komponente polprevodniške opreme naslednje generacije. Uporaba SIC vakuumskih Chucks so neposredno vezana na povečanje donosa, zanesljivost opreme in nadzor obdelave.