Vakuumska vpenjalna glava SiC

Vakuumska vpenjalna glava Semicorex SiC predstavlja vrhunec natančnega inženiringa, prilagojenega za zahtevno industrijo polprevodnikov. Ta inovativna naprava, izdelana iz grafitnih substratov in izboljšana z najsodobnejšimi tehnikami kemičnega naparjevanja (CVD), brezhibno integrira neprimerljive lastnosti prevleke iz silicijevega karbida (SiC). Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex SiC Vacuum Chuck je posebej zasnovano orodje, ki varno drži polprevodniške rezine med kritičnimi fazami obdelave z največjo stabilnostjo in zanesljivostjo. Prevleka CVD SiC vakuumske vpenjalne glave SiC zagotavlja izjemno mehansko trdnost, kemično odpornost in toplotno stabilnost ter zagotavlja, da so občutljive rezine zaščitene pred morebitnimi poškodbami ali kontaminacijo.

Edinstvena kombinacija grafita in prevleke SiC vakuumske vpenjalne glave SiC nudi visoko toplotno prevodnost in minimalen koeficient toplotnega raztezanja. To omogoča učinkovito odvajanje toplote in enakomerno porazdelitev temperature po površini rezine. Te lastnosti so bistvene za vzdrževanje optimalnih pogojev obdelave in povečanje izkoristka v postopkih izdelave polprevodnikov.

Vakuumska vpenjalna glava SiC je združljiva tudi z vakuumskimi okolji, kar zagotavlja vrhunski oprijem med vpenjalno glavo in rezino. To odpravlja nevarnost zdrsa ali neusklajenosti med zelo natančnimi operacijami. Njegova neporozna površina in inertne lastnosti še dodatno preprečujejo izločanje plinov ali kontaminacijo z delci, s čimer varujejo čistost in celovitost okolja za proizvodnjo polprevodnikov.

Semicorex SiC Vacuum Chuck je temeljna tehnologija v proizvodnji polprevodnikov, ki ponuja neprimerljivo zmogljivost in vzdržljivost za izpolnjevanje razvijajočih se zahtev industrije. Ne glede na to, ali se uporablja v litografiji, jedkanju, nanašanju ali drugih kritičnih postopkih, ta napredna rešitev še naprej na novo opredeljuje standarde odličnosti pri rokovanju in obdelavi polprevodniških rezin.