Sic cevi

Polkovne sic cevi (cevi za peči) so vrhunske komponente, ki se v polprevodniški industriji močno uporabljajo zaradi svoje idealne toplotne stabilnosti, mehanske trdnosti in skrajne odpornosti na agresivne kemikalije v različnih uporabi. Polmočne sic cevi so zasnovane tako, da preživijo najbolj ostre pogoje, povezane z visokotemperaturno obdelavo. SIC cevi so očitno prednostni in vrhunski material za difuzijske peči, sisteme LPCVD/PECVD in v okoljih, ki se uporabljajo za epitaksialno rast, v katerih sta kontaminacija materiala in toplotna diferencial ključna.

SEMMOREX SIC cevi so izdelane iz ultra visokih čistosti sic v prahu, ki uporabljajo napredne metodologije sintranja in tehnike nadzora procesov, ki ohranjajo čistost SIC. Rezultat tega je, da imajo sic cevi optimalno toplotno prevodnost, nizke značilnosti toplotne ekspanzije in imajo porazdelitev teže po dolžini cevi, kar učinkovito zmanjša toplotno napetost, tudi če so izpostavljene hitremu toplotnemu kolesarjenju. Tako uporaba cevi SIC zagotavlja visoko-športno spoštovanje med neprekinjenimi visokotemperaturnimi procesi (do 1600 ° C)-s čimer zagotavlja enotnost v procesih polprevodniških proizvodnih procesov, kar povečuje splošno učinkovitost na doslednih lestvicah.

Primarna prednost SIC -a je, da je kemično inertna. SIC je praktično neporozen (v skladu z razvrščanjem ASTM-G654 GP-4) in je nenadzorovan, ko gre za odpornost na korozivne pline in reaktivne kemikalije, ki se uporabljajo pri razvoju polprevodnikov, vključno s HCl, NH₃, SIH₄ itd. Prav tako se zabeleži, da se bosta v skrajnostih, ki so v agresivnih atmosferjih, v agresivno atmosferjo, ki se bodo v agresivno atmosferji razgradili v agresivno atmosferjo in povečanje časa servisa, hkrati pa zmanjšanje upočasnitve pretoka, povezanih s spremembami in zamenjavami cevi. Ključne koristi za proizvodnjo polprevodnikov so jasne; Uporaba cevi SIC lahko zmanjša skupne stroške znižanja lastništva za tedne ali celo mesece, hkrati pa ohranja zanesljivost, saj se nanaša na industrijske procese.

Polmokne sic cevi so v številnih premerih, dolžinah in specifikacijah po meri, da se sprejmejo različne modele peči in potrebe po predelavi. Notranje površine so lahko polirane, kar izboljša čistočo, zmanjša nastajanje delcev in je pomembna podrobnost v ultra-čistih polprevodniških prostorih. Uporaba polkopredstavnih cevi lahko pomaga zmanjšati tveganje za kontaminacijo in prispeva k povečanju donosa rezin s tesnimi tolerancami in izboljšano kakovostjo površine.

Strokovno znanje SIC -ovega SIC vključuje dolgoletno predelavo silicijevega karbida s poudarkom na natančnem inženiringu in nadzoru kakovosti, da se izpolnjuje po strogih in zahtevnih standardih kakovosti polprevodniške industrije. Naše cevi so testirane in potrjene z inšpekcijskimi pregledi, ki so kritični za zagotavljanje čistosti, gostote in izvajanja v najbolj ekstremnih toplotnih okoljih. Semicorex ponuja tudi tehnično podporo in možnosti oblikovanja po meri za pomoč pri optimizaciji sistema peči za posebne aplikacije.

Ne glede na to, ali proizvajajo logični čipi, napajalne naprave ali optoelektronika, polkovodične cevi predstavljajo zanesljivo, trajno možnost za visoko temperaturno obdelavo. Z izbiro Semicorex ne zagotavljate samo učinkovitosti, ampak dolgoročnejši stabilen, učinkovit postopek za izdelavo polprevodnikov.