Sic robot roke

Posemike SIC Robot Hands so najnovejše v končnih učinkih, namenjenih aplikacijam za prenos robotičnih rezin na področju proizvodnje polprevodnikov. Izdelani z visoko zmogljivimi materiali smo te robotske roke izdelali s keramiko silicijevega karbida (SIC), da smo zagotovili največjo toplotno tabelo, kemično stabilnost in mehansko trdnost za vse bolj ostro okolje izdelave ali ravnanja z rezinami.

Osrednja v naših robotskih rokah je naš lastniški napredniSilicijev karbidZnana po svoji visoki trdoti (MOHS 9), visoki toplotni prevodnost in korozijski odpornosti. Za razliko od tradicionalnih materialov, kot sta aluminij ali nerjavno jeklo, je SIC združljiv z ostrim predelovalnim okoljem polprevodniških čistilnih sob, vključno s predelanimi visokimi temperaturami in reaktivnimi plini. Nudimo dolgoročno trajnost in zmanjšujemo kontaminacijo, kar je skladno s strogo čistostjo, potrebno za proizvodnjo rezin.

Polprevodniška oprema z rokami SIC robot uporablja sesanje negativnega tlaka, da dobimo rezino, tj. Polprevodniška rezina je adsorbirana na kremenčevem ali keramičnem prstu z uporabo načela sesalne skodelice, ki mu sledi prevoz z uporabo mehaničnih akcijskih rok, ki se razteza, vrti in dviguje gibanje.

"Visoka hitrost" in "čistoča" sta temeljni značilnosti opreme za ravnanje z rezinami polprevodnikov. Za dosego teh značilnosti ima oprema izjemno stroge zahteve glede učinkovitosti uporabljenih komponent. Ker se večina procesov izvaja v vakuumu, visoki temperaturi in korozivnem plinskem okolju, mora imeti roko za upravljanje v opremi odlične fizikalne lastnosti, kot so: visoka mehanska trdnost, korozijska odpornost, visoka temperaturna odpornost, odpornost na obrabo, visoka trdota, izolacija itd., In napredni keramični materiali lahko le izpolnjujejo te pogoje.

Keramika iz silicijevega karbidaimajo fizikalne lastnosti goste teksture, visoke trdote, visoko odpornost na obrabo, pa tudi dobro toplotno odpornost, odlično mehansko trdnost, dobro izolacijo v visokem temperaturnem okolju, dobro korozijsko odpornost in druge fizikalne lastnosti. Je odličen material za izdelavo rok za ravnanje s polprevodniško opremo.

Zavedajoč se, da se robotske platforme razlikujejo glede na proizvajalce Fabs in orodja, so naše roke robot na voljo v različnih standardiziranih velikostih in jih je mogoče prilagoditi edinstvenim konfiguracijam orodij. Primestitvene vmesnike, geometrije prstov in funkcije podpore za rezine lahko prilagodijo določene opreme in potrebe po postopkih. Ne glede na to, ali prenašate rezine v grozdnih orodjih, vakuumskih komorah ali sistemih za foup, se naše robot roke brez težav integrirajo z vodilnimi blagovnimi znamkami robotike.

Vsaka roka robota SIC je podvržena strogim postopkom čiščenja, pregledov in embalaže, da se zagotovi skladnost s standardi čistilnih prostorov razreda 1. Neporozna, antistatična površina SIC zmanjšuje adhezijo delcev, medtem ko se robustna struktura upira mikrofrakturam, ki bi lahko sčasoma privedle do nastajanja delcev. Zaradi tega so idealni za procese spredaj rezin, kjer lahko celo najmanjša kontaminacija privede do okvare naprave.

Od epitaksije in ionske implantacije do PVD, CVD in CMP se roke robota zaupajo v vsakem koraku izdelave polprevodniških naprav. Njihova vrhunska odpornost na toplotni šok in plazemska okolja je nepogrešljiva v naprednih logičnih in moči polprevodniških linijah, zlasti kjer se uporabljajo substrati sic rezin.