Porozne keramične vpenjalne glave Semicorex SiC so bistvene komponente, posebej zasnovane za adsorpcijo in fiksacijo stanjšanih ultratankih rezin v napredni proizvodnji polprevodnikov. Semicorex je zavezan k ponudbi natančno strojno obdelanih poroznih keramičnih vpenjal SiC z vodilno kakovostjo na trgu za naše ugledne stranke.
Z napredkom obdelave polprevodnikov in naraščajočim povpraševanjem po elektronskih komponentah postaja uporaba ultratankih rezin vse bolj kritična. Na splošno se rezine z debelino manj kot 100 μm imenujejo ultra tanke rezine. Ko pa so rezine stanjšane na manj kot 100 μm, so precej krhke in njihova mehanska trdnost se posledično zmanjša, kar ima za posledico veliko tveganje zvijanja, upogibanja ali celo zloma rezin. Iz tega razloga je izbira uporabe poroznih keramičnih vpenjal Semicorex SiC za razlepljanje pametna odločitev, ki lahko zagotovi zanesljivo podporo in zaščito ultratankih rezin za doseganje varnega ločevanja v procesu razlepljanja.
S trdoto po Mohsu približno 9,5, SemicorexSiC porozne keramične vpenjalne glaveponašajo se z izjemno odpornostjo proti obrabi in lahko dolgoročno prenesejo ponavljajoče se vakuumske adsorpcije in postopke sproščanja z zanesljivo vzdržljivostjo med postopkom odlepitve.
Poleg tega so porozne keramične vpenjalne glave Semicorex SiC z vrhunsko toplotno prevodnostjo primerne za hitro prevajanje toplote, kar lahko učinkovito prepreči lokalno pregrevanje, ki lahko razgradi ali poškoduje rezine, še posebej primerne za proces razlepljanja pri visokih temperaturah.
Izdelano iz visokokakovostnegasilicijev karbidv prahu s sintranjem pri visoki temperaturi imajo vpenjalne glave za odlepitev porozne keramike Semicorex SiC številne medsebojno povezane mikropore, enakomerno porazdeljene znotraj. S poroznostjo 30 (±5) % in velikostjo por, ki je natančno nadzorovana med 2-25 μm, lahko vpenjalne glave za razlepljanje porozne keramike Semicorex SiC zagotovijo enakomerno obremenitev ultratankih rezin med postopkom razlepljanja, s čimer se močno zmanjša tveganje zvijanja in zloma rezin.
Izkoriščajo zrele tehnologije strojne obdelave in površinske obdelave, vpenjalne glave za odlepitev porozne keramike Semicorex SiC dosegajo vzporednost, nadzorovano pod 0,02 mm, in dvostransko ravnost pod 0,02 mm. Ta odlična ravnost in vzporednost zagotavljata stabilno in ravno podporno platformo za postopek odlepitve ultratankih rezin, kar učinkovito zagotavlja natančnost in zanesljivost postopka odlepitve.
Porozne keramične vpenjalne glave Semicorex SiC za odlepljanje so zelo primerne za obdelavo rezin velikosti 6 in 8 palcev in so na voljo v različnih standardnih dimenzijah, vključno s premerom 159 mm × debelino 0,75 mm, premerom 200 mm × debelino 1 mm, premerom 204 mm × debelino 1,5 mm.