SIC vodoravne cevi za peč

SIC horizontalne cevi za pečso nepogrešljivi nosilci sistema peči, ki se običajno nahajajo v območju ogrevanja jedra proizvodnje polprevodnikov ali fotovoltaične proizvodne opreme. Delujejo skupaj z grelnimi elementi, sistemi za nadzor temperature, sistemi za nadzor plina in ladjami za rezine, da tvorijo celoten sistem peči.

Pri dejanskem delovanju SIC vodoravne cevi peči segrevajo grelni elementi, ki s pomočjo odlične toplotne prevodnosti materialov iz silicijevega karbida enakomerno prenašajo toploto v cevi peči. Medtem se posebni procesni plini (kot so kisik, dušik, dopirni plini itd.) vnesejo v cev peči. Pod vplivom te visokotemperaturne plinske atmosfere bodo polprevodniški materiali v peči podvrženi kemičnim reakcijam ali fizikalnim spremembam, s čimer bodo na koncu doseženi modifikacija materiala, doping ali strukturna optimizacija.

Semicorexove vodoravne cevi za peč SIC zagotavljajo izjemno mehansko trdnost in trdoto, ki ima pomembno vlogo pri aplikacijah, ki vključujejo ravnanje in obdelavo rezin velikih količin. Horizontalne cevi za peč SIC lahko zagotovijo stabilno podporo za rezine v postopkih toplotne obdelave, kot so oksidacija, difuzija in žarjenje, s čimer zagotovijo, da so rezine v pravem položaju med visokotemperaturno obdelavo in se izognejo premikom ali deformacijam, ki jih povzroči toplotna obremenitev.

Semicorexove vodoravne cevi za peč SIC so izdelane iz materiala visoke čistostisilicijeva karbidna keramikaz ultra nizko vsebnostjo nečistoč, čemur sledi odlaganje CVDprevleka iz silicijevega karbidana njihovi površini. Ta način izdelave doda zaščitno plast vodoravnim pečnim cevem SIC, ki jim omogoča stabilno delovanje v zahtevnih visokotemperaturnih in korozivnih okoljih skozi čas. Ta odpornost proti koroziji vodoravnih cevi SIC izboljšuje učinkovitost proizvodnje polprevodniških rezin z učinkovitim zmanjševanjem tveganja poškodb komponent, povezanih s korozijo, in zmanjšanjem potrebe po pogostih zamenjavah in vzdrževanju.

S toliko vrhunskimi lastnostmi se Semicorexove vodoravne cevi za peč SIC pogosto uporabljajo v številnih visokotemperaturnih procesih obdelave v fotonapetostni in polprevodniški industriji, kot so oksidacijski proces, difuzijski postopek, postopek žarjenja in nizkotlačno kemično naparjevanje.