SiC fokusni obroči

Napredni fokusni obroči iz SiC visoke čistosti Semicorex so izdelani tako, da prenesejo ekstremna okolja v komorah za plazemsko jedkanje (ali suho jedkanje). Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex dobavlja SiC Focus Rings, ki je res stabilen za RTA, RTP ali ostro kemično čiščenje. Fokusni obroči SiC ali robni obroči so zasnovani za izboljšanje enakomernosti jedkanja okoli roba rezine ali oboda. Zmanjšajte kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje s komponentami visoke čistosti, zasnovanimi za zahtevno obdelavo s plazemskim jedkanjem. Naši fokusni obroči SiC s prevleko SiC so gosta, na obrabo odporna prevleka iz silicijevega karbida (SiC). Ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).

Parametri fokusnih obročev SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti obročev za fokusiranje SiC

- CVD premazi iz silicijevega karbida za podaljšanje življenjske dobe.

- Toplotna izolacija iz visoko zmogljivega prečiščenega trdega ogljika.

- Grelec in plošča iz ogljika/ogljika. - Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Prevleka iz grafita visoke čistosti in SiC za odpornost proti luknjam in daljšo življenjsko dobo