Sic Edgen Ring

Polgni robni rob, izdelan s kemičnim odlaganjem hlapov (CVD) silicijevega karbida (SIC), predstavlja kritični vidik izdelave polprevodnikov, zlasti v pomembni vlogi v procesu izdelave v plazemskih komorah. Rodni obroč se nahaja okoli zunanjega roba elektrostatičnega chucka (ESC) med postopkom jedkanja v plazmi in ima tako estetski kot funkcionalen odnos z rezino v procesu.

V proizvodnji v polprevodniškem integriranem vezju (IC) je enakomerna porazdelitev plazme kritična, vendar so okvare robov rezin ključnega pomena za vzdrževanje visokih donosov med proizvodnjo IB in IBF metod, poleg zanesljivih električnih zmogljivosti drugih ICS. SIC robni obroč je pomemben pri obvladovanju zanesljivosti plazme na robu rezine, medtem ko stabilizira mejne plime rezin v komori, ne da bi obema izenačili kot konkurenčne spremenljivke.

Medtem ko se ta proces jedkanja v plazmi izvaja na rezine, bodo rezine izpostavljene bombardiranju iz visokoenergijskih ionov, pri čemer bodo reaktivni plini prispevali k vzorcem prenosa. Ti pogoji ustvarjajo visokoenergijske procese gostote, ki lahko negativno vplivajo na enotnost in kakovost robov rezin, če jih ne upravlja pravilno. Rodni obroč je mogoče sočasno izpostaviti s kontekstom obdelave rezin in ko se generator elektrificirane plazme začne izpostavljati rezine, bo robni obroč absorbiral in prerazporedil energijo na robu komore ter razširil učinkovito učinkovitost električnega polja od generatorja na rob ESC. Ta stabilizacijski pristop se uporablja na različne načine, vključno z zmanjšanjem količine uhajanja v plazmi in izkrivljanjem ob robu meje rezin, kar lahko privede do izgorevanja roba.

S spodbujanjem uravnoteženega plazemskega okolja sic robni obroč pomaga zmanjšati učinke mikro nalaganja, preprečiti prekomerno pritegnitev na obrobju rezin in podaljšati življenjsko dobo tako rezin kot komponent komore. To omogoča večjo ponovljivost procesov, zmanjšano pomanjkljivost in boljšo enotnost čez vodo-ključne metrike pri proizvodnji polprevodnikov z veliko količino.

Diskontinuitete so povezane med seboj, zaradi česar je optimizacija procesov na robu rezine bolj zahtevna. Na primer, električne diskontinuitete lahko povzročijo izkrivljanje morfologije plašča, kar povzroči, da se kot vpadni ioni spremeni, kar vpliva na enakomernost jedkanja; Neenakomernost temperature polja lahko vpliva na hitrost kemične reakcije, zaradi česar se hitrost jedkanja robov odstopa od stopnje osrednjega območja. Kot odgovor na zgornje izzive so izboljšave običajno narejene iz dveh vidikov: optimizacija opreme in prilagoditev parametrov procesa.

Fokusni obroč je ključni sestavni del za izboljšanje enakomernosti jedkanja robov. Nameščen je okoli roba rezine, da razširi območje porazdelitve plazme in optimizira morfologijo ovoja. Če ni fokusnega obroča, višinska razlika med robom rezin in elektrodo povzroči, da se plašč upogne, zaradi česar so ioni vstopili v območje jedkanja pod neenakomernim kotom.

Funkcije fokusnega obroča vključujejo:

• Zapolnite višinsko razliko med robom rezine in elektrodo, s čimer je plašč plašč, tako da ioni navpično bombardirajo površino rezine in se izognejo izkrivljanju jedkanja.

• Izboljšajte enakomernost jedkanja in zmanjšati težave, kot so prekomerno robovsko jedkanje ali nagnjeni profil jedkanja.

Materialne prednosti

Uporaba CVD SIC kot osnovnega materiala ponuja več prednosti pred tradicionalnimi keramičnimi ali prevlečenimi materiali. CVD SiC je kemično inerten, toplotno stabilen in zelo odporen proti eroziji v plazmi, tudi pri agresivnih kemičnih fluorih in kloru. Njegova odlična mehanska trdnost in dimenzijska stabilnost zagotavljata dolgo življenjsko dobo in nizko ustvarjanje delcev v visokotemperaturnih kolesarskih pogojih.

Poleg tega ultra-nagajiva in gosta mikrostruktura SIC CVD zmanjšuje tveganje za kontaminacijo, zaradi česar je idealna za ultra čista procesna okolja, kjer lahko celo nečistoče v sledovih vplivajo na donos. Njegova združljivost z obstoječimi platformami ESC in geometrijami komore po meri omogoča brezhibno integracijo z naprednimi 200 mm in 300 mm orodji za jedkanje.