Lahko ste prepričani, da boste v naši tovarni kupili nosilce rezin z grafitno podlago s prevleko SiC za MOCVD. Pri Semicorexu smo obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC na Kitajskem. Naš izdelek ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Našim strankam se trudimo zagotoviti visokokakovostne izdelke, ki izpolnjujejo njihove specifične zahteve. Naš nosilec rezin z grafitnim substratom s prevleko SiC za MOCVD je odlična izbira za tiste, ki iščejo visoko zmogljiv nosilec za svoj proizvodni proces polprevodnikov.
Nosilec rezin iz grafitnega substrata s prevleko SiC za MOCVD igra ključno vlogo v procesu izdelave polprevodnikov. Naš izdelek je zelo stabilen tudi v ekstremnih okoljih, zaradi česar je odlična izbira za proizvodnjo visokokakovostnih rezin.
Lastnosti naših nosilcev rezin z grafitnim substratom s prevleko SiC za MOCVD so izjemne. Njegova gosta površina in drobni delci povečajo njegovo odpornost proti koroziji, zaradi česar je odporen na kisline, alkalije, soli in organske reagente. Nosilec zagotavlja enakomeren toplotni profil in zagotavlja najboljši laminarni vzorec pretoka plina, kar preprečuje, da bi kakršna koli kontaminacija ali nečistoče difuzirale v rezino.
Parametri nosilcev rezin iz grafitnega substrata s prevleko SiC za MOCVD
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD
- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč