Planetarni suceptorji, prevlečeni s SiC

Planetarni suceptorji, prevlečeni s Semicorex SiC, so nepogrešljiva podporna komponenta, zasnovana za epitaksialno rast polprevodnikov v opremi Aixtron G2, v kateri lahko varno podpirajo rezine in se vrtijo na način planetarnega gibanja. Na ta način je mogoče uspešno doseči natančno toplotno enakomernost in enakomerno porazdelitev plina po površini rezin, kar ima za posledico nanos epitaksialne plasti vrhunske kakovosti na rezine.

Prednosti planetarnih suceptorjev, prevlečenih s Semicorex SiC

1. Oblika žepa z več rezinami

Semicorex SiC prevlečenplanetarni suceptorjiimajo enakomerno porazdelitev več žepkov za napolitanke z natančno nadzorovanimi dimenzijami. Ti žepki za rezine lahko trdno držijo podlage za rezine med postopkom epitaksialne rasti, kar lahko učinkovito zmanjša variacije epitaksialnih postopkov, ki jih povzroči neželeno premikanje substratov za rezine. Poleg tega ta žepna zasnova z več rezinami omogoča, da se več substratov rezin podvrže epitaksialnemu nanašanju hkrati v enem samem procesu, kar močno izboljša splošno učinkovitost postopka epitaksialne rasti.

2. Optimizirana razporeditev lukenj za pretok plina

Semicorex vključuje skrbno zasnovan niz kanalov za pretok plina v svojSiC-kaotiranoplanetarni suceptorji, ki izboljšuje optimizacijo dinamike pretoka plina in toplotne enakomernosti po površini rezin v celotnem epitaksialnem procesu. Ta premišljena zasnova omogoča natančen nadzor nad hitrostjo pretoka plina in porazdelitvijo znotraj reakcijske komore, kar je bistvenega pomena za doseganje visokokakovostnih tankih filmov, enakomerne debeline plasti in zanesljivega splošnega delovanja naprave.

3. Ultra-visoka čistoča

Planetarni odjemniki s prevleko Semicorex SiC so izdelani iz materialov ultra visoke čistosti in izjemno nizkih stopenj nečistoč, kar v celoti izpolnjuje stroge zahteve glede čistosti pri izdelavi polprevodnikov. Učinkovito zmanjšajo kontaminacijo rezin, ki jo povzroči izločanje kovinskih plinov, tudi pri visokotemperaturnih in korozivnih pogojih, značilnih za epitaksialne postopke.

4. Dolgotrajna življenjska doba

Semicorexov nadzor kakovosti se začne z našim strogim izborom surovin. Planetarni prijemniki, prevlečeni s SiC, so natančno izdelani iz polprevodniškega grafita in silicijevega karbida, ki nudijo odlično visokotemperaturno odpornost in odpornost proti koroziji, zaradi česar popolnoma prenesejo zahtevne visokotemperaturne, zelo korozivne epitaksialne pogoje delovanja. S temi odličnimi lastnostmi materiala lahko planetarni odjemniki s prevleko Semicorex SiC ohranijo svoje dosledno delovanje in strukturno celovitost ter se izognejo poškodbam površine in zmanjšanju zmogljivosti v visokotemperaturnih in visoko korozijskih reakcijskih komorah, kar močno podaljša življenjsko dobo planetarnih odjemnikov, prevlečenih s SiC.