SiC prevlečeni grafitni bazni prijemniki za MOCVD

Naši susceptorji iz grafita s prevleko iz SiC za MOCVD imajo visoko toplotno in korozijsko odpornost, ki zagotavlja veliko stabilnost tudi v ekstremnih okoljih.
Lastnosti tega grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD so izjemne. Narejen je s prevleko iz silicijevega karbida visoke čistosti na grafitu, zaradi česar je zelo odporen proti oksidaciji pri visokih temperaturah do 1600°C. Postopek kemičnega naparjevanja CVD, uporabljen pri izdelavi, zagotavlja visoko čistost in odlično odpornost proti koroziji. Površina nosilca je gosta, s finimi delci, ki povečajo njegovo odpornost proti koroziji, zaradi česar je odporen na kisline, alkalije, soli in organske reagente.
Naši susceptorji iz grafita s prevleko iz SiC za MOCVD zagotavljajo enakomeren toplotni profil, kar zagotavlja najboljši laminarni vzorec pretoka plina. Preprečuje, da bi kontaminacija ali nečistoče difuzirale v rezino, zaradi česar je idealna za uporabo v čistih prostorih. Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC na Kitajskem in naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.

Parametri grafitnih susceptorjev s prevleko iz SiC za MOCVD

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč