Diski za preusmerjanje plina, prevlečeni s SiC

Semicorex je odličen primer naprednih polprevodniških materialov in najsodobnejših proizvodnih tehnologij.Prevlečen s SiCdiski za preusmerjanje plina so natančno izdelani iz grafita visoke čistosti, saj so njihove matrice z gosto prevleko SiC s kemičnim naparjevanjem. Diski za preusmerjanje plina so v glavnem zasnovani za enakomerno porazdelitev reakcijskega plina po površini rezin, da se zagotovijo popolne reakcije med obdelavo, s čimer se olajša tvorba konsistentnih in enotnih monokristalnih tankih filmov.

Prednosti diskov za preusmerjanje plina, prevlečenih s Semicorex SiC

1. Visoka čistost materiala

Semicorex podpira stroge standarde kakovosti izdelkov, začenši s skrbno izbiro materiala. Zahvaljujoč temu strogemu nadzoru čistosti surovine diski za preusmerjanje plina, prevlečeni s SiC, zagotavljajo nizko vsebnost nečistoč in se ponašajo z izjemno čistostjo. To lahko bistveno prepreči, da bi kovinski ioni in drugi onesnaževalci ogrozili epitaksialne procese polprevodnikov.

2. Vrhunska toplotna stabilnost

Komponente, uporabljene v teh sistemih, morajo imeti izjemno toplotno stabilnost, ker polprevodniška epitaksialna oprema običajno deluje pri temperaturah nad 1400 °C. Ta izjemna toplotna stabilnost lahko zagotovi, da diski za preusmerjanje plina, prevlečeni s Semicorex SiC, prenesejo zahtevne delovne pogoje pri visokih temperaturah in lahko učinkovito preprečijo sproščanje nečistoč, ki jih povzroči visoka temperatura med delovanjem, kar pomaga zagotoviti kakovost in izkoristek epitaksialnih rezin.

3. Izjemna odpornost proti koroziji pri visokih temperaturah

Nezaščitene grafitne matrice so nagnjene k koroziji in ustvarjanju delcev, zato so diski za preusmerjanje plina običajno obdelani s prevleko iz silicijevega karbida, da se poveča njihova odpornost proti koroziji. Pokriti z gosto SiC prevleko,  Semicorex SiC prevlečeni plinski diski ponujajo odlično odpornost proti oksidaciji in kemični koroziji, kar jim omogoča stabilno delovanje v dolgi življenjski dobi tudi v zahtevnih visokotemperaturnih in korozivnih pogojih delovanja.

4. Prilagodljive možnosti prilagajanja

Semicorex je opremljen z več napredno obdelovalno opremo, kot so CNC obdelovalna oprema, stroji za površinsko brušenje in ultrazvočna oprema za vrtanje, ki ponuja izkušene zmogljivosti obdelave. Semicorex lahko ponudi prilagodljive storitve prilagajanja v skladu z risbami strank in prilagodi dimenzije, tolerance, ravnost površine, premere lukenj in razmike lukenj diskov za preusmerjanje plina, prevlečenih s SiC, da zagotovi brezhibno združljivost z epitaksialno opremo strank.