SiC keramične vakuumske vpenjalne glave

Natančno izdelane mikro luknje so enakomerno porazdeljene po površini SiC keramičnih vakuumskih vpenjal, kar omogoča zanesljivo povezavo z zunanjo vakuumsko opremo. Med delovanjem se aktivira vakuumska črpalka, ki vleče zrak skozi luknje, kar ustvarja okolje podtlaka med polprevodniško rezino in vakuumsko vpenjalno glavo. To torej omogoča, da se rezina enakomerno in trdno drži na površini vakuumskega vpenjala.

Prednosti keramičnih vakuumskih vpenjal Semicorex SiC

1. Izbira vrhunskega materiala

SemicorexSiC keramične vakuumske vpenjalne glaveskrbno izberite silicijev karbid visoke čistosti kot surovino. Semicorexov strogi nadzor nad čistostjo materiala učinkovito preprečuje kontaminacijo rezin, ki jo povzročijo nečistoče med delovanjem, s čimer izpolnjuje vse večje zahteve glede čistosti proizvodnje in donosa.

2. Fina natančnost obdelave

Površina keramičnih vakuumskih vpenjal Semicorex SiC je podvržena zrcalnemu poliranju, njihova ravnost pa je nadzorovana pri 0,3–0,5 μm. Ta izjemen nadzor ravnosti lahko omogoči optimalen kontaktni učinek, kar močno zmanjša tveganje za praske na rezinah, ki jih povzročajo grobe kontaktne površine. Vsaka mikro luknja in utor v vakuumskih vpenjalnih glavah je natančno obdelan, kar zagotavlja stabilen in enakomeren adsorpcijski učinek med delovanjem.

3. Prilagodljive storitve prilagajanja

Semicorex našim cenjenim strankam zagotavlja storitve prilagajanja, saj ponuja različne velikosti SiC keramičnih vakuumskih vpenjal, kot so 6-palčne, 8-palčne, 12-palčne. Tolerance dimenzij, velikost por, ravnost in hrapavost lahko prilagodimo zahtevam kupcev, s čimer zagotovimo popolno ujemanje z vašo opremo za obdelavo in pregledovanje polprevodnikov.

4. Odlična vzdržljivost in življenjska doba

SemicorexSiC keramikavakuumske vpenjalne glave so oblikovane z izostatičnim stiskanjem in nato sintrane pri visoki temperaturi. Po tej tehnologiji posebnih postopkov imajo keramične vakuumske vpenjalne glave Semicorex SiC številne odlične zmogljivosti, kot so lahka teža, visoka togost, močna odpornost proti obrabi in nizek koeficient toplotnega raztezanja. Te lastnosti omogočajo, da keramične vakuumske vpenjalne glave Semicorex SiC neprekinjeno delujejo v zahtevnih pogojih pri rokovanju in obdelavi polprevodniških rezin.