SiC keramična vakuumska vpenjalna glava

Ker si prizadevajo za Moorov zakon, obrati za izdelavo polprevodnikov potrebujejo platforme za držanje rezin, ki lahko prenesejo hude mehanske sile in ostanejo ravne, brez udarcev ali padcev. Keramična vakuumska vpenjalna glava Semicorex SiC zagotavlja popolno rešitev za zamenjavo tradicionalnih vpenjal iz aluminijevega oksida in nerjavečega jekla; zagotovili bodo potrebno razmerje med togostjo in težo in ne bodo kemično reagirali, oboje pa je bistveno za obdelavo 300 mm rezin in več.

1. Materialne prednosti z uporabo sintranega gostega silicijevega karbida (SSiC).

Glavna sestavina našegaSiC keramikaVakuumska vpenjalna glava je sintranaSilicijev karbid, material, ki ga definira zelo močna kovalentna vez. Naš SSiC ni porozen ali reakcijsko vezan; namesto tega je sintran pri > 2000 stopinjah Celzija, da doseže skoraj teoretično gostoto (> 3,10 g/cm3) – preprosto povedano, je trdnejši od drugih materialov, ki se uporabljajo za izdelavo vakuumskih vpenjal.

Izjemna mehanska togost.

Youngov modul SSiC je približno 420 GPa, zaradi česar je veliko trši od aluminijevega oksida (približno 380 GPa). Zaradi tega visokega modula elastičnosti bodo naše vpenjalne glave ostale stabilne v pogojih vakuuma in visoke hitrosti vrtenja in se ne bodo deformirale; zato se oblati ne bodo "krhnili" (tj. zvili) in bodo vedno v enotnem stiku po celotni površini.

Toplotna stabilnost in nizek CTE

V procesih, ki vključujejo visoko intenzivno UV-svetlobo ali toploto, povzročeno s trenjem, lahko toplotna ekspanzija povzroči napake prekrivanja. Naše vpenjalne glave iz SiC imajo nizek koeficient toplotnega raztezanja (CTE) 4,0 x 10^{-6}/K, skupaj z visoko toplotno prevodnostjo (>120 W/m·K). Ta kombinacija omogoča, da vpenjalna glava hitro odvaja toploto in ohranja dimenzijsko stabilnost med dolgotrajnimi litografskimi ali meroslovnimi cikli.

2. Precizno inženirstvo in oblikovanje

Kot je razvidno iz slike izdelka, imajo naše vakuumske vpenjalne glave zapleteno mrežo koncentričnih in radialnih vakuumskih kanalov. Ti so obdelani s CNC stroji z izjemno natančnostjo, da se zagotovi enakomerno sesanje po rezini, kar zmanjša lokalne točke napetosti, ki bi lahko povzročile zlom rezine.

Submikronska ploskost: uporabljamo napredne tehnike diamantnega brušenja in lepanja, da dosežemo globalno ploskost <1μm. To je ključnega pomena za ohranjanje žariščne globine, ki je potrebna v naprednih litografskih vozliščih.

Lahka teža (neobvezno): Za prilagoditev stopnjam visokega pospeška v steperjih in skenerjih ponujamo strukture notranjega satja za "lahko težo", ki zmanjšujejo maso brez ogrožanja strukturne togosti.

Zareze za poravnavo perimetra: integrirane zareze omogočajo brezhibno integracijo z robotskimi končnimi efektorji in senzorji za poravnavo znotraj procesnega orodja.

3. Kritične aplikacije v dobavni verigi polprevodnikov

Naše SiC keramične vakuumske vpenjalne glave so industrijski standard za:

Redčenje in mletje rezin (CMP): Zagotavlja togo podporo, potrebno za stanjšanje rezin do mikronske ravni brez lomljenja robov.

Litografija (steperji/skenerji): Deluje kot ultra ravna "odra", ki zagotavlja natančno lasersko ostrenje za vozlišča pod 7 nm.

Meroslovje & AOI: Zagotavljanje, da so rezine popolnoma ravne za preglede visoke ločljivosti in kartiranje napak.

Rezanje rezin na rezine: Zagotavlja stabilno sesanje med hitrimi mehanskimi ali laserskimi operacijami rezanja.

Pri Semicorexu se zavedamo, da je vakuumska vpenjalna glava dobra le toliko, kolikor je dobra njena površinska celovitost. Vsaka vpenjalna glava je podvržena večstopenjskemu procesu nadzora kakovosti:

Laserska interferometrija: Za preverjanje ravnosti po celotnem premeru.

Testiranje puščanja s helijem: Zagotavljanje popolne tesnosti in učinkovitosti vakuumskih kanalov.

Čiščenje čistih prostorov: obdelano v okolju razreda 100 za zagotovitev ničelne kovinske ali organske kontaminacije.

Naša inženirska ekipa tesno sodeluje s proizvajalci orodij OEM za prilagajanje vzorcev rež, dimenzij in montažnih vmesnikov. Z izbiro Semicorexa vlagate v komponento, ki skrajša čas izpadov, izboljša natančnost prekrivanja in z izjemno vzdržljivostjo zniža vaše skupne stroške lastništva.