SiC keramična robotska roka

SiC keramikarobotska rokase uporablja v več procesih izdelave polprevodniških rezin in ima pomembno vlogo pri zagotavljanju kakovosti in učinkovitosti izdelave rezin. Običajno je nameščen znotraj in zunaj komor različne polprevodniške sprednje opreme, kot so stroji za jedkanje, oprema za nanašanje, stroji za litografijo, oprema za čiščenje, neposredno sodeluje pri rokovanju in pozicioniranju polprevodniških rezin. 

Polprevodniške rezine se zlahka onesnažijo z delci, zato se z njimi povezani proizvodni procesi večinoma izvajajo v čisti in vakuumski polprevodniški opremi. Keramična robotska roka SiC kot bistvena komponenta takšne opreme pri dejanskem delovanju pride v neposreden stik s polprevodniškimi rezinami in mora izpolnjevati tudi izjemno visoke zahteve glede čistoče. Semicorexova SiC keramična robotska roka je izdelana iz visoko zmogljive keramike iz silicijevega karbida, ki ji sledi natančna obdelava površine in čiščenje, ki lahko natančno izpolni stroge zahteve proizvodnje polprevodnikov glede čistosti in ravnosti površine. To bistveno prispeva k zmanjšanju napak v rezinah in izboljšanju izkoristka proizvodnje rezin.

SiC keramikarobotska roka je optimalna možnost za postopke toplotne obdelave, kot so žarjenje, oksidacija in difuzija. Zaradi izjemne toplotne stabilnosti in vrhunske odpornosti na toplotne udarce materialov iz silicijevega karbida lahko SiC keramična robotska roka zanesljivo deluje daljša časovna obdobja v pogojih visoke temperature. Lahko se upre vplivu toplotnega raztezanja in ohranja svojo strukturno celovitost pod toplotnimi obremenitvami, s čimer zagotavlja dosledno natančnost pozicioniranja rezin.

Zahvaljujoč robustni odpornosti na korozivne pline in tekočine lahko SiC keramična robotska roka stabilno ohranja svojo zmogljivost tudi, ko je izpostavljena agresivnim korozivnim procesnim atmosferam, kot so jedkanje, nanašanje tankega filma in ionska implantacija. Ta odpornost proti koroziji izboljša učinkovitost proizvodnje polprevodniških rezin z učinkovitim zmanjševanjem tveganja poškodb komponent, povezanih s korozijo, in zmanjšanjem potrebe po pogostih zamenjavah in vzdrževanju.