Sic keramični čolni

Keramični čolni iz polpredstavnosti so najsodobnejši prevozniki, ki so posebej zasnovani za varno prevoz, shranjevanje in obdelavo polprevodniških rezin v najzahtevnejšem kemično in toplotno ekstremnem okolju. Podvokunska industrija je hitro sprejela nove standarde uspešnosti, ki so zahtevali, da sic keramične čolne zanesljivo, zaupanja vredne in brez kontaminacije dosegajo nestrpne in kritične zahteve po sodobnih procesih izdelave rezin.

Močna toplotna stabilnost in moč

Določitveni atribut sic keramičnih čolnov je zelo visoka toplotna stabilnost. SiC keramični čolni lahko zdržijo temperaturo, ki presega 1600 ° C, ne da bi izgubili obliko ali strukturo med agresivnimi postopki toplotnega kolesarjenja. Zaradi ultra nizkega koeficienta toplotne ekspanzije so keramični čolni SIC manj nagnjeni k popačenju in razpokanju, kar omogoča tesne tolerance in splošno varnost rezin med ravnanjem v trdnih pogojih.

Visoka čistost in kemična odpornost

Sic keramični čolni so izdelani iz silicijevega karbida iz ultra visokega čistosti. SiC keramični čolni so prav tako zelo odporni na kemično razgradnjo, jedko in erodiranje plazme. Inertna narava sic keramičnih čolnov pomeni procese korozivnih plinov, reaktivnih okolij, kisle razmere ne bi tvorili kontaminacije iz čolna ali nič topno, da bi škodovali delovnemu procesu. Nekontaminirajoča površina sic keramičnih čolnov ne omogoča nastajanja delcev ali izpišenja ionov, zato površina rezin ni ogrožena zaradi nečistoč, ki ovirajo delovanje ali donos naprave.

Natančno inženiring za varno in varno ravnanje z rezinami

SiC keramični čolni so izdelani v tesnih tolerancah, kar jim omogoča, da ravnajo s rezinami različnih premerov, vključno s 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm in še več. Konstrukcijska zasnova čolnov SiC zagotavlja odlično ravnost, paralelizem in enakomerno velikost reže, da ohrani pravilno orientacijo rezin in zaščiti robove rezine pri prenosu na drug postopek ali orodje. Vse sic čolne so lahko zasnovane z dimenzijami po meri, da se ujemajo z naborom orodja ali izpolnjujejo kakršne koli specifikacije za avtomatizacijo.

Dolga življenjska doba in stroškovno učinkovitejša

SIC nadomešča tradicionalne materiale (kremen, alumina) z znatno izboljšano mehansko trdnostjo, žilavostjo zloma in odpornostjo na toplotni udar. Ta stopnja trajnosti pomeni daljšo življenjsko dobo pred "neuspehom", bistveno manj nadomestkov med delovanjem in nižji skupni stroški lastništva. Doslednost v zmogljivosti zaradi trajnosti SIC se bo zmanjšala in pospešila pretok na proizvodnih linijah polprevodnikov.

Odprte aplikacije v polprevodniških procesih

SiC keramični čolni se pogosto uporabljajo v polprevodniških procesih, kot so:

LPCVD in PECVD odlaganje

Toplotna oksidacija

Ionska implantacija

Žarjenje in difuzija

Čiščenje rezin in kemična predelava

SIC keramični ročaji imajo združljive aplikacije za obdelavo tako v atmosferi kot v vakuumskih procesnih komorah, zaradi česar je idealna izbira za livarne in Fabs, ki želijo zmanjšati in zmanjšati tveganje za kontaminacijo, hkrati pa povečajo produktivnost.