Sic konzolni vesla

Poltilni palici SIC so visokozmogljive komponente, ki so zasnovane natančno za ravnanje z rezinami in transport rezin v opremi za toplotno predelavo polprevodnikov (LPCVD, PECVD, oksidacija in difuzijske peči). Ti konzolni vesla zagotavljajo platformo za rezine in nujno obliko podpore, ki zagotavlja stabilen in zanesljiv transport krhkih rezin skozi ostre visokotemperaturne procese (pogosto presega 1200 ° C). Konzole so izdelane iz silicijevega karbida z visoko čistostjo (SIC), ki zagotavlja mehansko vzdržljivost, toplotno stabilnost in protikorozivne lastnosti za okolje za izdelavo polprevodnikov.

Silicijev karbid je super premijev keramični material z odlično toplotno prevodnostjo, nizko toplotno ekspanzijo in sposobnost zanesljivega delovanja v kemično sovražnih okoljih. Silicijev karbid v konzolnih veslah lahko pomaga zmanjšati toplotno upogibanje

 in gibanje, ki ohranja rezine ravne in v njihovem nominalnem položaju obdelave. Toplotna stabilnost rezin v konzolu konzolnih vesla je pomembna za zmanjšanje vprašanj kontaminacije delcev in mehanskega gibanja, zlasti pri proizvodnji naprednih naprav vozlišč. Ta vprašanja lahko povzročijo izgubo donosa ali drago predelavo in zamenjavo rezin.

Monolitna oblika vesla s konzoli Sic izboljša mehansko robustnost in toplotno enotnost, hkrati pa izloči sklepe in šibke točke, ki lahko običajno obstajajo v kompozitih. Poleg tega je površinski zaključek vesla posebej nadzorovana in na splošno polirana do kakovosti zrcala, da se čim bolj zmanjšuje nastajanje delcev in je zelo v skladu s čistimi sobama.

V procesih difuzije in oksidacije, ki vključujejo kisik, paro in druge reaktivne pline; Običajni materiali se lahko sčasoma zrušijo ali deformirajo. SIC -jeva lastnost kemijske inertne lastnosti zagotavlja, da ne bodo vesla izstopali ali korodirali in uvedli kontaminacijo v postopek zaradi uporabe nestabilnih materialov, kar prispeva k bolj stabilnemu procesu in zanesljivih rezultatih.  Strukturna celovitost vesla s konzoli Sic ostaja stabilna kljub hitremu kolesarjenju ogrevanja in hlajenja. Zato ponujajo dolgo življenjsko dobo operativnih storitev z močno zmanjšanim vzdrževanjem ali delom nadomestitve.

Poleg tega zmanjšana masa in lahka teža vesla omogočata hitrejši toplotni odziv; s tem omogoča hitrejše toplotne rampe in hladne čase, ki prispevajo k večji produktivnosti in energetski učinkovitosti, vse glavne metrike v konkurenčni pokrajini proizvodnje polprevodnikov.

SIC Cantilever Paddles je mogoče dobaviti v različnih konfiguracijah in velikostih, zasnovanih in izdelanih tako, da sprejmejo različne modele peči in velikosti rezin od 100 mm do 300 mm in več. Integratorji originalne opreme in opreme cenijo doslednost in zanesljivost vesla SIC sčasoma za namestitev tako v postopkih sprednjega in zadnjega dela.

SEMEMOREX ponuja vrhunske konzolne vesla s strogim nadzorom čistosti materiala, mikrostrukture in dimenzijskih toleranc. Naše napredne procesne zmogljivosti, skupaj z našim poznavanjem polprevodniške toplotne dinamike, nam omogočajo, da izdelamo vesla s temi atributi, ki izpolnjujejo ali presegajo industrijske standarde za stabilnost, čistočo in trajnost. Kadar mora biti pravi in zanesljiv, je Semicorex kraj za kakovostne komponente SIC.