SiC konzolno veslo

Konzolna lopatica Semicorex SiC (silicijev karbid) je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih pečeh ali pečeh LPCVD (nizkotlačno kemično naparjevanje) med procesi, kot sta difuzija in RTP (hitra toplotna obdelava). Služi za podporo in transport rezin znotraj procesne cevi teh peči.

Konzolno veslo Semicorex SiC je sestavljeno predvsem iz silicijevega karbida, robustnega in toplotno stabilnega materiala, znanega po odpornosti na visoke temperature in odličnih mehanskih lastnostih. SiC je izbran zaradi svoje sposobnosti, da vzdrži težke pogoje v visokotemperaturnih procesnih okoljih polprevodniških peči. Zasnova konzolne lopatice SiC omogoča, da se razširi v procesno cev peči, medtem ko je trdno zasidrana na enem koncu zunaj cevi. Ta zasnova zagotavlja stabilnost in podporo rezinam, ki se obdelujejo, hkrati pa zmanjšuje motnje toplotnega okolja v peči.

Konzolno veslo SiC je namenjeno varnemu prenašanju polprevodniških rezin znotraj procesne cevi med različnimi visokotemperaturnimi procesi, kot sta difuzija in RTP. Njegova robustna konstrukcija zagotavlja, da lahko brez degradacije ali okvare prenese ekstremne temperature in kemična okolja, do katerih pride med temi procesi. Konzolne lopatice SiC so zasnovane tako, da so združljive s široko paleto velikosti in oblik polprevodniških rezin, ki se običajno uporabljajo v industriji. Pogosto jih je mogoče prilagoditi posebnim konfiguracijam peči in zahtevam procesa.